ASMI高k設備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份 作者： 時間：2009-04-30 來源：SEMI 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。本文引用地址：http://www.j9360.com/article/93958.htm ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設備，用于28nm節點高k柵介質工藝的量產。 業界猜測該代工廠是臺積電。臺積電正在開發28nm高k金屬柵工藝，但該公司拒絕對細節進行評論。其競爭對手聯電也在開發28nm高k工藝。
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