EUV
在半導體行業，EUV一般指EUV光刻，即極紫外光刻。 極紫外光刻（英語：Extreme ultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長的光刻技術。 EUV光刻采用波長為10-1...... [查看詳細]
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