中芯沒EUV是好事?外媒爆自產DUV大突破
荷蘭芯片設備制造巨擘ASML執行長福克(Christophe Fouquet)表示,盡管中國大陸企業如中芯國際近年來在半導體領域有顯著進展,但由于無法取得最先進的極紫外光微影設備(EUV),芯片制程技術仍落后臺積電、三星等代工龍頭約10至15年。
本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202412/465896.htmTom's Hardware報導,福克接受荷蘭《鹿特丹商報》(NRC)采訪時指出,中芯國際和華為僅使用深紫外光曝光設備(DUV),在成本效益上無法與臺積電的制程技術相提并論。
他認為,美國政府祭出的禁止EUV出口中國大陸禁令確實有效,讓中國落后西方約15 年。盡管傳出中芯國際曾訂購一臺EUV設備,但ASML為遵守國際出口管制規范「瓦圣那協議」以及美國制裁,從未將EUV設備出口至中國。
然而,ASML仍持續向中國出貨先進DUV設備,例如「Twinscan NXT:2000i」機型,可生產5納米、7 納米制程芯片。目前中芯國際使用第一代和第二代7納米制程為華為生產芯片,有助于中國高科技巨頭應對美國制裁。
由于EUV設備無法進入中國,華為及其合作伙伴正積極開發極紫外線曝光技術,以建立自家芯片制造設備與生態系統,預計耗時約10至15年。相較之下,ASML及合作伙伴花了超過20年的時間建立EUV生態系統。
在1990年代的許多技術都是公開已知,因此中國開發EUV技術的難度較低,但外界最大擔憂并非在15年后開發出EUV曝光設備,而是未來幾年內復制ASML主流DUV設備,如Twinscan NXT:2000i。
目前,美國政府施壓 ASML,要求停止為販賣至中國的先進 DUV系統提供維修服務,以配合對中國半導體業的制裁,但荷蘭政府尚未同意。
中國大陸企業包括中芯國際、華虹半導體和長江存儲等,都是ASML的重要客戶,透過銷售DUV曝光設備,每年獲利數十億美元。若大陸設備廠成功開發自有 DUV系統,不僅可能減少對 ASML的采購量,甚至可能出口至中國以外的市場,與ASML展開競爭,進一步加劇ASML在中國市場的壓力。
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