臺灣半導體產業自主性發起產業大同盟，以抗衡三星所大力扶持周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地設備商。業者表示，晶圓廠垂直整合重點設備商，避免技術外流，已成為時勢所趨。

　　國內科技業過去在高端制程設備高度仰賴國際設備大廠，在提供臺灣廠商設備與改良時，也將臺灣的寶貴制程技術內化到所供應的設備之中，這產生日后可能將臺灣量產技術泄露給對手的風險。國內半導體廠要保持制程領先，應先構筑對追隨者切入的城墻，政府也有必要對臺灣在地設備商提供更多的支持。

　　政府已著手輔導半導體設備自主化發展，并列為國家型計畫支持的重點項目，其目的是要輔助真正能著力于設計、組裝與服務的設備公司，只有掌握設備設計開發的能力才能達到真正的臺灣設備自制率提升。

　　研制太陽能與IC、面板產業所需設備應以制程為客制化設備開發的導向，這是確保量產優勢最重要的一環。設備的性能與產能關乎產品品質與生產成本，其中又以物理/化學氣相沉積設備 (PVD/CVD;Physical/Chemical Vapor Deposition)是最具關鍵性，是生產精密元件的基礎制程設備。

　　精曜科技投入各種鍍膜設備與自動化量產系統平臺的開發及推展，目前產品已獲得產業龍頭的認可與采用，為國內僅見。其研發設計與工廠設于竹科，60多位專業人員埋首于設備的開發，建立“以制程為自主設計設備之導向，整合委外的精密機加工鏈，再進行組裝、測試、品質檢驗與售后服務”的特有經營模式，已突破數十套CVD設備銷售，另外在大陸蘇州設有設備展示中心，供全球客戶做試樣與驗證，已進入成長的階段。

　　異質接面(HJT)太陽能電池是首個被美國能源部認可，率先獲得美國電池工廠所采用的項目。精曜科技的PECVD設備在HJT的制程中，已能成功執行8奈米(nm)厚的膜層鍍膜，并達到最均勻的膜層厚度，超越客戶的需求規格，具體展現精曜有能力持續發展如原子層鍍膜設備與蝕刻等新應用。

　　該公司初期投入非晶微晶矽薄膜太陽能產業所需的關鍵PECVD設備，當時轉換效率已達12%，建立了優良鍍膜的能力與名聲，精曜CVD設備亦可應用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池與N型單晶高效率異質接面(HJT)太陽電池等的鍍膜制程，展現優越的特性，因此開啟多元化的發展契機，現與臺灣二大電池工廠長期密切合作，觸角也延伸至國外。

　　近年太陽能產業已朝向與市電平價(Grid Parity)的目標發展，產業逐漸脫離對政府補助的依賴，自由化的市場將促進成長的爆發性。精曜科技行銷處長陳厚模指出“制程差異化、成本降低、效率可持續提高的HJT產品”為未來業者勝出太陽能市場的關鍵點。有鑒于高效率太陽能發電制造設備極具潛力，工業局的“精密機械工業發展推動計畫”，對半導體設備的“高效率太陽能發電之制造設備”，明確指出為潛在發展產品項目之一。

　　世界太陽能發展趨勢已朝向以屋頂發電為主，美國Solar City并購新興的賽昂(Silevo)異質接面電池工廠之后，已籌劃大手筆建構產能高達1GW的異質接面電池工廠，精曜做為高端鍍膜設備的領頭羊，打進國際大廠供應鏈，在Solar City一案，精曜扮演了重要的角色。

　　Solar City預估到2018年時，異質接面電池的量產光電轉換效率將達25%，模組生產成本(CoO)將低于40￠/瓦，均化發電成本(LCOE)則將降到3￠/度。另一方面，部份業者也高度關注背接式(IBC)高效電池的發展，友達(AUO)之前已投入與美商Sunpower合作在馬來西亞共建IBC電池工廠，但在2014年的PV Taiwan展會中卻展示出323W的高效異質接面模組，效率已達20%，回推其異質接面電池效率應已超越21.5%，代表國內電池業者已有企圖發展異質接面電池的量產。

　　臺灣具有強大的半導體中游產業鏈，但需要加強上游的自主設備產業區塊，畢竟，設備是工業之母，設備自主是國家競爭力的重要泉源。