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俄羅斯首臺光刻機問世

作者: 時間:2024-05-27 來源:SEMI 收藏

據外媒報道,目前,首臺已經制造完成并正在進行測試。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202405/459189.htm

聯邦工業和貿易部副部長瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已組裝并制造了第一臺國產,作為澤廖諾格勒技術生產線的一部分,目前正在對其進行測試,該設備可確保生產的芯片。什帕克還指出,到2026年將獲得130nm的國產,下一步將是開發90nm光刻機,并繼續向下邁進。

此前,曾表示,計劃到2026年實現65nm的芯片節點工藝,2027年實現28nm本土芯片制造,到2030年實現14nm國產芯片制造。



關鍵詞: 俄羅斯 光刻機 350nm

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