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比芯片更讓人擔憂:光刻膠自給率不足5%,50nm工藝以下全靠進口

作者: 時間:2021-06-04 來源:新浪科技 收藏

  最近,關于日本或斷供部分國內企業的消息,不時地傳出。原因在于日本的產能沒有提升,且全球第五大生產企業信越化學(日本企業)KrF光刻膠福島工廠關閉,產能受限,但全球的產能在不斷的提升,于是光刻膠也開始供不應求了。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202106/426146.htm

  相應的,這些光刻膠廠商肯定優先供應大客戶,中國的這些小客戶自然優先級排在后面,所以也就有可能面臨斷供的風險。

  很多人表示,斷供能夠逼著我們的光刻膠前進,話是這樣沒錯,但說實話,目前國內光刻膠技術與日本或者說國際領先水平差太遠,一旦斷供,國產頂不上,影響還是很大的。

  光刻膠按照工藝,為可分為5種,分別是g線、i線、KrF、ArF、EUV,這5種光刻膠針對不同的工藝制程。

  g線、i線主要用于250nm以上工藝;KrF一般用于250nm-130nm工藝;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工藝;EUV光刻膠主要用于7nm及以下工藝。

  目前國內的光刻膠現狀是什么?g線/i線光刻膠自給率約為20%,KrF光刻膠自給率不足5%,ArF光刻膠自給率為0,完全依賴進口,而EUV光刻膠就更加不用提了。

  也就是說,國內的光刻膠技術,最多支持國內的企業們生產130nm工芯片或更成熟的芯片,比這個工藝更先進的,就無能為力了。

  當然,前段時間南大光電表示,公司已經研發出了ArF光刻膠,并且在50nm閃存平臺,以及55nm的邏輯芯片節點上通過認證,但目前南大光電的ArF也僅僅只是通過驗證,并沒有大量生產出貨,解決不了什么問題。

  事實上,從全球范圍來看,日本才是光刻膠的實質壟斷者,在g線/i線、KrF、ArF、EUV光刻膠市場中,日本企業的市占率分別為61%、80%、93%,100%,總體份額超過75%。

  如果我們將光刻機看成是發動機,那么光刻膠就是汽油一樣的燃料了,在芯片制造中必不可少的,一旦發生突發事件,我國芯片制造即會受到威脅,因此國產化勢在必行。特別是當前中國芯在加速前進的情況下,這種關鍵性的材料,必須要提高自給率才行。



關鍵詞: 光刻膠 芯片

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