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蝕刻機和光刻機之間的區別,國產5nm蝕刻機取得臺積電認證

作者: 時間:2020-10-19 來源:夢想科學社 收藏

最近5nm刻蝕機被炒的很火,網上鋪天蓋地的消息都在說,中國芯片已經實現彎道超車,我國芯片將自給自足,不用擔心被卡脖子的問題了。其實這種說法是極其不專業的,純粹就是偷天換日、混淆視聽。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202010/419329.htm

乍一看非常接近,但是卻不能混為一談,因為蝕刻只是制造芯片其中之一的環節罷了。而刻蝕機也只是諸多芯片制造設備其中之一。下面我給大家聊一下。

蝕刻機和其實就是完全不同的兩種設備,不論從功能還是結構上來說都是天差地別,光刻機是整個芯片制造過程中最為核心的設備,芯片的制程是由光刻機決定的,而不是蝕刻機。

從工作原理上看光刻機和蝕刻機。

如果把制造芯片比喻成蓋房子,那么光刻機的作用就是把房子的結構標注在地上??涛g機就是在光刻完成以后才登場的設備,也是光刻完成以后最為重要的設備之一。刻蝕機最主要的作用就是按照光刻機已經標注好的線去做基礎建設,把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標注好的線路。

從結構上來看光刻機和蝕刻機。

光刻機的最主要的核心技術就是光源和光路,其光源和光路的主要組成部分有四個,光源、曝光、檢測、和其他高精密機械組成。對比之下,蝕刻機的結構組成就要簡單很多,主要是等離子體射頻源、反應腔室和真空氣路等組成。


從售價來看蝕刻機和光刻機。

ASML的EUV光刻機單臺售價高達1.2億美元,而蝕刻機的售價就要低很多了,每臺售價在幾十萬到幾百萬美元之間。

蝕刻機的相關工作原理我之前有發文,有感興趣的可以去我主頁去找,這里我也不再過多敘述。

國產蝕刻機就給我國半導體領域做了一個很好的榜樣,我國中微半導體研發出國際主流的5nm蝕刻機并取得臺積電的認證后,美國商務部就把蝕刻機從對華出口限制清單上移除了。這充分說明了一件事情,只要自己有了核心技術,對手就沒法再打壓你。

總體來說,我國在半導體領域還相對比較落后,還有較長的路要走,但是只要我們堅持走下去,就一定可以看見彩虹。



關鍵詞: 蝕刻機 光刻機

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