據ZDnet報道，三星宣布，已成功將EUV技術應用于DRAM的生產中。

三星已經出貨了100萬個使用EUV工藝制造的10nm級DDR4 DRAM模塊，并得到了客戶的評估。三星表示，評估工作完成后，將為明年大規模生產新的DRAM鋪平道路。

三星在平澤工廠的EUV專用V2生產線將于下半年開始生產DRAM模塊。該生產線預計將生產4代10nm級DDR5和LPDDR5。

這是平澤工廠除7nm邏輯芯片外又一使用EUV技術生產的芯片，三星稱，EUV技術將使其單個12英寸晶圓的生產效率提升一倍。

三星、英特爾和臺積電等全球半導體制造商預計都將擴大EUV技術在芯片生產中的應用。三星此前曾表示，計劃利用EUV技術生產3nm芯片。