隨著全球半導體行業的競爭已經進入到了“下半場”，臺積電和三星在7nm正打得火熱，但兩邊手里的“武器”，也就是極紫外光刻(EUV)光刻機，均是來自于ASML。

　　曾經，一直傳言受西方《瓦森納協議》的限制，中國只能買到ASML的中低端產品，但ASML后來正式澄清，其最高端的EUV光刻機進口到中國大陸完全沒有問題。

　　那么近兩年以來，大陸有哪些集成電路制造商引進了ASML的設備呢?

　　中芯國際：1.2億美元的EUV光刻機

　　去年5月，中芯國際向ASML訂購了一套EUV設備，據傳是當時最昂貴和最先進的芯片生產工具，價值高達1.2億美元，這一設備預計將于2019年年初交付。

　　知情人士表示，1.2億美元的價格和2019年的交貨時間可能不準確，但訂單是真實的。他還指出，如果價格是1.2億美元，臺積電和三星的價格也不會低于這個數目。也就是說，ASML給到中芯國際的價格已經很便宜了。

　　集微網記者根據價格推測，中芯國際訂購的這臺EUV光刻機的型號應該是TwinscanNXE：3400B，這是當時市面上最先進的EUV光刻機設備。

　　據ASML官網顯示，這臺價值1.2億美元的天價設備，能夠支持精細到5nm工藝節點的批量生產，由此也可以見得，14nm不是中芯國際的最終目標，7nm時代并不會太遙遠。

　　在其他數據方面，該設備采用了卡爾蔡司SMT全反射4倍光學變焦鏡頭組件，最大曝光范圍為26mm×33mm，擁有每小時155片的300mm尺寸晶圓雕刻能力。

　　要知道，這臺價值EUV設備的價值大致相當于中芯國際2017年的1.26億美元凈利潤，半導體行業專家莫大康曾表示這是為研發做準備的大投資，但不能高興的太早，因為設備出口許可證，ASML說了不算，還要聽美國的。

　　不過，ASML今年還將推出產能更高的新型號TwinscanNXE:3400C，每小時晶圓雕刻能力將從155片提升至170片，并換裝了Cymer公司的340W光源。這樣一來，預計3400B運抵中芯國際廠區的時候，已經不再是市面上最先進的EUV設備了。

　　長江存儲：NXT1980Di

　　就在中芯國際下單EUV光刻機幾天后，長江存儲購買自ASML的光刻機也運抵了武漢天河機場，陸續還有多臺進廠。

　　根據集微網當時的報道，這臺光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機,型號為NXT1980Di，售價達7200萬美元(約合人民幣4.6億元)，用于10nm級(14～20nm)的晶圓生產。

　　據了解，長江存儲在2016年啟動了位于武漢的國家存儲器基地的建設，總投資高達240億美元，按計劃，2020年月產能將達到30萬片。

　　華虹六廠：喜提14nm關鍵設備

　　去年5月21日上午，華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目(“華虹六廠”)首臺工藝設備光刻機正式進廠。

　　這臺ASML的光刻機型號與長江存儲的193nm雙級沉浸式光刻機一樣，都是NXT1980Di，這兩臺也是當時大陸裝備的最先進的沉浸式光刻設備。

　　華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目，總投資387億元人民幣，將建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線，工藝覆蓋28-14納米技術節點。

　　預計該生產線將于2022年底建成達產，未來主要從事邏輯芯片生產，重點服務國內設計企業先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

　　SK海力士(無錫)：如期而至的NXT:2000i

　　去年8月，ASML曾表示已經開始出貨新設備TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機)，可用于7nm和5nm節點，并表示不久后就將進入大陸。

　　ASML果然沒有食言，去年12月19日晚間，中國首臺ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠。

　　NXT:2000i將是NXE:3400BEUV光刻機的有效補充，臺積電的第一代7nm全部采用了DUV工藝，在第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+)，臺積電首次應用了EUV，不過僅限四個非關鍵層，其他關鍵層仍然使用的是DUV工藝。

　　作為當前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產品，NXT:2000i達到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)精度。

　　無錫是SK海力士在中國的DRAM內存芯片生產基地，目前每月晶圓的產量約為14萬片。另外，SK海力士還成立了SKHynixSystemIC公司，開始進軍晶圓代工市場，同時增加1000萬美元投資，在無錫擴大了模擬IC芯片業務。

　　粵芯：神秘的運輸車

　　今年3月15日，廣州粵芯半導體在廣州舉行了主設備進場儀式。日前，曾有數臺載有半導體設備的運輸車進入了粵芯的廠區，其中就有一臺格外引人注目，因為其車廂外部印有ASML商標。

　　據集微網記者了解，粵芯半導體項目是國內第一座以虛擬IDM(irtuallDM)為營運策略的12英寸芯片廠，也是廣州第一條12英寸芯片生產線，一期目標產能為4萬片每月，投資高達100億元。

　　粵芯半導體目前的工藝覆蓋90nm到180nm，產品主要包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等。二期工程建成后，能滿足物聯網、汽車電子、人工智能、5G等創新應用的模擬芯片需求，屆時工藝覆蓋將為40nm到65nm。

　　單以工藝節點的覆蓋來推測的話，這臺ASML的設備，有可能是TwinscanNXT:1965Ci，該設備能滿足20nm級別的光刻工藝需求。

　　鞋是別人的，路還要靠自己走

　　ASML去年的凈銷售額為109億歐元，凈收入為26億歐元。僅第4季度就收到了5個EUV設備訂單。按計劃，今年更將出貨30臺EUV設備，其中包括DRAM客戶的首批批量生產系統。

　　中國大陸的半導體制造目前還落后于世界一流水平兩至三代，雖然如今有ASML先進的硬件設施鼎力相助，但還需要自身工藝研發方面取得突破。

　　如今，就連臺積電和三星這樣的大廠都要看ASML的臉色行事，沒有ASML提供設備，他們的先進工藝研發也會受阻。中國半導體產業在追趕世界第一梯隊的路上，半導體設備國產化具有重要戰略意義。

　　雖然去年出現過一臺號稱能做10nm的國產光刻機，但后來澄清了這臺只是原理機，不專業的報道一度引得國人拍手叫好。其實，國內也有像中微半導體和北方華創這樣有實力的半導體設備廠商，雖然與ASML有一定實力差距，但要想不受制于人，只有自主研發一條路。