近5000平方米的潔凈室，每一塊地板的孔洞數量，為了循環洗滌都經過精準計算。其中用來曝光和顯影的“黃光區”，潔凈度更高，1分鐘內1立方英尺的空間大于0.2微米的微塵必須少于10顆。這里正是上海微技術工研院建設的國內首條專注“超越摩爾”領域，面向微機電系統的8寸研發中試線所在地。6月底，這條中試線將啟動試運行。

　　到2020年，上海市將培育形成約30家研發與轉化功能型平臺，與張江綜合性國家科學中心共同組成上海科創中心建設的“四梁八柱”。上海微技術工業研究院(簡稱工研院)正是第一個啟動的平臺。這家新型研發機構成立4年來，走過了一條不尋常的機制體制創新之路。

　　企業化運作的研發與轉化平臺

　　成立于2013年5月的上海微技術工業研究院，以上海新微技術研發中心有限公司為運營實體。與一般事業編制的研發機構不同，它是一家企業化運作的研發與轉化功能型平臺，其目標是打造世界級傳感器及超越摩爾領域龍頭新型研發機構。

　　“活”是企業最大的特點，工研院便在“活”上做足文章。以往從實驗室研發出成果到量產，有很長的一段路要走，中試就是一個必經階段。不過，中試在很多企業看來是一樁性價比很低的“買賣”，不僅要拿出原本賺錢的設備和生產線，還有可能遭遇失敗。未來，8寸研發中試線建成后，不僅可以做研發，還可以實現小規模量產，加快產品市場化。

　　工研院充分發揮產業平臺功能，和中科院上海微系統所聯合產業資本設立了同華新微基金和“超越摩爾”產業基金。其中，“超越摩爾”產業基金由工研院、國家集成電路產業投資基金以及其他戰略投資人共同發起成立，規模達50億元。同華新微基金由工研院和同華投資集團共同發起成立，規模達20億元。一旦有了好的項目，無需四處“化緣”，可以用產業基金直接投資，大大提高了資本運行效率。

　　“一輛車能跑多快，除了車的性能，更重要的是取決于開車的人。”8寸研發中試線運營副總裁游家杰說，超越摩爾是另辟蹊徑的反向突破，要實現這一目標，需把人才作為第一資源。成立之初，工研院就建立了人才引進和股權激勵機制，面向全球引進頂級人才及團隊，并給予相匹配的市場待遇，目前已形成覆蓋戰略規劃、研發、工程、運營和市場銷售的150人團隊，其中研發和工程人員比例高達80%。此外，以上海為中心，還在硅谷、臺灣新竹、歐洲等地成立了研發中心，打造全球人才網絡。

　　事前報批制改為事后考核制

　　為把體制創新再往前推一步，使得對工研院的穩定支持常態化，2016年10月27日，上海市科委、嘉定區人民政府與工研院簽署了戰略合作協議，加快“超越摩爾”核心技術研發。所謂“超越摩爾”，是指不再只遵循摩爾定律，在半導體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產線上，研發非數字、多元化半導體技術與產品;不再跟在少數企業后面“較勁”，而在傳感器等其他新興技術領域實現“彎道超車”。

　　正如“超越摩爾”這一內涵的創新，市科委探索先“給錢”后“考核”的評價體系，工研院因此成為上海首個將事前報批制改為事后考核制的單位——前期研發階段，政府給予穩定支持，并每年進行考核，以加快科技成果向市場的轉化。在財政經費總量上，采用政府投入與單位績效掛鉤制度：公司運營收入高，政府投入也高，反之投入就少。同時，給予工研院在經費使用、人員聘任等方面的自主權，推動其在市場化環境中快速發展，整體帶動上海半導體產業的轉型升級。

　　由于傳感器的更迭換代周期較短，先“給錢”后“考核”，無疑最大程度地爭取了時間，加快了實驗室的成果向市場轉化。

　　提升產業鏈綜合服務能級

　　機制體制上的創新，激發了這家研發機構的內在活力。市科委主任壽子琪曾表示，未來建成的30家研發和轉化功能型平臺，是直接支撐上海經濟社會發展的基礎性平臺，要通過科技創新給上海帶來實惠。近年來，工研院聚焦MEMS等先進傳感器、第三代半導體材料及器件、射頻器件和電路，以及高效太陽能電池等重點方向，實現了產業核心技術的新突破，已申請國際發明專利14件、國內發明專利111件。此外，工研院另一重要創新平臺——硅光子集成工藝平臺，在前沿基礎研究與核心器件開發方面取得了良好進展，并將結合8寸研發中試線從整體上打通國內硅光子產業鏈，有望成為全球第三個先進的硅光子研發中試平臺。隨著產業核心關鍵技術的突破，工研院對整個產業鏈的綜合服務能級也得到快速提升，已為華為、Vivo、中芯國際等50多家知名客戶提供工程技術服務。

　　培育新業態和新產業，增強產業引領能力，同樣是工研院作為研發與轉化功能型平臺的重要使命。工研院完成汽車雷達芯片項目的孵化，聯合同華投資管理公司共同成立了汽車雷達芯片公司，打造國內自主知識產權的汽車雷達芯片產品;為實現HIT太陽能電池的規模化生產，工研院與中科院上海微系統研究所、三峽資本共同成立了一家產業化公司，總投資額約為5億人民幣。

　　為打造國內超越摩爾產業創新生態環境，工研院牽頭成立了“中國傳感器與物聯網產業聯盟”，目前成員數量已達300余家。由該聯盟主辦的中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會已得到國際同行和國內產業圈的普遍認可，成為國際三大傳感器與物聯網交流平臺之一。

　　在成立之初，工研院對標的是歐洲最大的獨立微電子研究中心比利時的IMEC;近期，雙方就合資成立“IMEC中國研究院”達成基本意向，下一代智能汽車的無人駕駛、傳感融合技術，將成為第一個合作方向。

　　勇立潮頭者，胸中有丘壑。工研院創新勇氣的背后，是對科技進步大方向、產業革命大趨勢的把握。工研院的發展戰略，緊跟的是國家集成電路發展戰略，看好的是半導體新興市場，倚重的是上海成熟的半導體產業優勢。假以時日，這家新型研發機構必將帶來更多的驚喜。