微機電(MEMS)前景看好，設備商機更誘人，但由于MEMS產品高度客制化的特性，在測試設備上不若以往的IC制程，有一套標準化的流程，因此在開發MEMS設備時，不僅需有硬件的底子，更加強調所謂的軟實力，也就是軟件開發，這對臺系設備廠來說，恐怕將是一大挑戰。

　　臺系設備廠跨入MEMS領域者少之又少，在測試領域目前只有致茂切入，從致茂的發展歷程來看，由過去在電力電子領域建立基礎，其IC測試設備不同于同業使用通用模式設計，而是針對客戶客制化設計，與同業最不同的在于強調Turnkey Solution，提供客戶自動化生產線外，協助設立制造信息系統(MES)，將硬件與軟件結合。在致茂400位研發人員中，有3分之1專門從事軟件研發，在設備業中比例相當高。

　　臺系設備業者指出，過去臺系設備廠在IC生產設備著墨并不深，若要進入MEMS領域，恐怕難度依然相當高。MEMS元件相較于傳統IC，多了機械部分，而且其動態特性相當細微，較傳統IC來的復雜許多，因此在測試上也增加對于軟件的依賴性，對于向來專精于硬件設計的臺廠來說，有相當大的難度。

　　根據國際半導體設備材料產業協會(SEMI)的統計，隨著MEMS元件市場的成長，MEMS設備需求可望從2005年的6.13億美元，成長至2010年的8.61美元。MEMS材料則從預估從2005年的3.85億美元，成長至2010年的7.71億美元。

　　臺系設備業者表示，從終端應用市場來看，蘋果(Apple)、Sony及任天堂(Nintendo)等皆在消費性產品中，運用MEMS元件，NB業界吹起的輕薄風潮，也帶起對于體積較小的MEMS麥克風需求，晶圓制造廠臺積電、聯電也相繼跨入發展，雖然尚未見爆發性的商機，然而已被視為是半導體業界未來的明日之星，臺系設備廠必須更加緊腳步。