長野計器開發利用金屬玻璃的壓力傳感器
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金屬玻璃是一種具有像玻璃一樣的非晶質構造的材料。由于沒有結晶粒界,所以具有比原有結晶質合金更高的彈性及耐腐蝕性。在與玻璃相同的高溫下,可輕松變形,因此可利用鑄造等手段進行精密再現。
在此次的研究中,開發出了適用于壓力傳感器感壓部的金屬玻璃及其成型加工方法。在金屬玻璃的種類方面,分別面向高靈敏度用途及高耐壓用途,設定了鋯基型和鎳基型。通過利用金屬玻璃出色的再現性,實現了比直徑為5mm的原產品更小的體積。另外,在加工方法上,還開發出了“適于金屬材料的薄膜應變計新蒸鍍方法”以及“面向接頭部件的新接合方法”。通過利用上述方法,實現了約為原來4倍的高靈敏度,以及為原來2倍以上的高耐壓性。
該研究作為日本經產省“革新材料產業創出項目”,受日本新能源產業技術綜合開發機構(NEDO)委托,通過“金屬玻璃成形加工技術項目”實施。在研究過程中,得到了日本東北大學校長井上明久以及青山制作所茨城工廠(總部:茨城縣常陸那坷市)等的協助。
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