優質和供應穩定的威格斯材料有助晶圓制造廠提升產量
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目前,威格斯公司通過制造商 (fabricator) 的網絡為世界各地包括歐洲、中國大陸、臺灣、日本及韓國等地的許多晶圓制造廠供應 VICTREX PEEK 聚合物。Strasbaugh公司工程項目經理Bill Kalenian說:“我們多年來一直采用 VICTREX PEEK 聚合物制造CMP保持環,客戶對效果非常滿意。VICTREX PEEK 聚合物因其獨特的性能,包括固有高純度、強度、耐化學品性能及耐磨損性能,被公認為用于 CMP
環的最佳高性能熱塑性材料之一。由于 VICTREX PEEK聚合物具有滿足嚴格公差的加工能力,并兼容拋光液 (slurries) 等工藝成分,因此非常適合于 CMP環應用,可以在制造過程中傳送更多的晶圓,從而減少停工時間,并降低每片晶圓的成本。” Strasbaug 公司從美國德克薩斯州Humble市的CDI Seals 公司購買VICTREX PEEK聚合物。
威格斯公司美洲區半導體經理 John Walling 稱:“這個領域的主要推動力之一是開發更好和更耐磨的CMP環,以配合其它關鍵CMP設備部件如CMP頂部裝置的先進性能。以往,CMP環采用的材料包括PPS,但是實際試驗表明,由VICTREX PEEK 聚合物制造的 CMP環,其使用壽命是PPS 產品的2.5倍。威克斯公司深切了解到市場對一致性的長壽命部件的需求,因此正在不斷開發材料,從而與這些技術進展保持同步。”
Walling續稱:“在半導體市場,尤其是CMP保持環方面,我們的高性能聚芳醚酮材料對于工藝的成敗起著決定性作用。有些美國和亞洲客戶因著我們的應用專業技術,加上VICTREX PEEK聚合物的固有高純度、高強度特性以及優良耐化學品性能、耐高溫性能和電氣性能,以 VICTREX PEEK來取代PPS。VICTREX PEEK聚合物制造的CMP環可以在制造過程中傳送更多的晶圓,從而減少停工時間,并降低每片晶圓的成本。”

圖1:VICTREX PEEK品級產品與PPS的磨損率對比
數據是采用Rodel拋光墊及SS12氧化物拋光液,在磨擦 CMP測試儀中心所收集的。這些結果在多種環境下均已獲得驗證。
威格斯的供應鏈戰略
威格斯公司商業總監 Blair Souder 稱:“我們不可低估半導體領域供應穩定的重要性。對于半導體晶圓制造廠,在需要時能夠及時獲得材料是非常重要的。晶圓制造廠是每周7天、每天24小時不停運作的工廠,它們必須穩定地獲得高質量而且批次一致的材料供應。如果無法獲取所需的材料,因延誤而造成的損失是無法估量的。因為這不僅是耽誤了晶圓的生產,而且因終端產品推出日期推遲,隨后對消費者市場產生的不良影響,也是十分嚴重的。”
保證供應及先于需求而作出投資,一直是威格斯業務戰略的一部分。該公司在VICTREX PEEK聚合物及其關鍵單體的生產與供應方面是自給自足的。威格斯公司在供應鏈的兩大關鍵組成部分進行了大量投資,首先,通過收購聚合物生產設施,然后進行升級,自下而上的整合了原材料供應鏈,以便更好地控制這些設施的質量和供應;其次,我們繼續先于需求而增加產能,以確保對客戶的供應持續。此外,我們最近正投資興建另一家VICTREX PEEK聚合物廠,落成后將使總產能超過4,200噸。這些投資將幫助威格斯公司更好地控制供應、成本及質量,并確保向客戶穩定供應我們的產品。
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