2017年12月1日，致力于“超越摩爾”產業發展的創新平臺上海微技術工業研究院(以下簡稱“工研院”)運營的8英寸“超越摩爾” 研發中試線首款傳感器產品近日獲得驗證通過，正式宣告研發中試線通線成功。

　　當前以智能傳感終端、大數據、云計算、人工智能等為代表的信息技術正加速創新，萬物互聯智能化時代正在到來。其中“超越摩爾”技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現萬物互聯的基礎。作為創新型功能平臺，工研院立足國內集成電路研發和產業基地上海，8英寸研發中試線落戶嘉定，填補國內這一領域的空白。

　　研發中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發，并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。

　　“這次的通線成功標志著中國在MEMS及先進傳感器的研發和產業化進入一個全新的快速發展的階段。未來研發中試線將持續發力，在新材料、新工藝、新器件、新系統重點技術領域開展研發，進一步推動“超越摩爾”產業鏈的完善和物聯網創新應用發展。” 上海微技術工研院總裁楊瀟表示。

　　以全球領先的8英寸“超越摩爾”研發中試線為支點，工研院將持續打造集研發、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創新企業及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案，建設具有全球影響力的科技創新中心及“超越摩爾”產業群。

　　圖：上海微技術工研院8英寸 “超越摩爾” 研發中試線