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4nm大戰,三星搶先導入將EUV,研發GAAFET

作者: 時間:2017-12-01 來源:集微網 收藏

  晶圓代工之戰,7nm制程預料由臺積電勝出,之戰仍在激烈廝殺。 Android Authority報道稱,三星電子搶先使用極紫外光()微影設備,又投入研發能取代「鰭式場效晶體管」(FinFET)的新技術,目前看來似乎較占上風。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/201712/372382.htm

  Android Authority報導,制程不斷微縮,傳統微影技術來到極限,無法解決更精密的曝光顯像需求,必須改用波長更短的, 才能準確刻蝕電路圖。 5nm以下制程,是必備工具。 三星明年生產7nm時,就會率先采用EUV,這有如讓三星在6nm以下的競賽搶先起跑,可望加快發展速度。

  相較之下,臺積電和格羅方德的第一代7nm制程,仍會使用傳統的浸潤式微影技術,第二代才會使用EUV。

  制程微縮除了需擁抱EUV,也需開發FinFET技術接班人。 晶體管運作是靠閘極(gate)控制電流是否能夠通過,不過芯片越做越小,電流信道寬度不斷變窄,難以控制電流方向,未來FinFET恐怕不敷使用,不少人認為「閘極全環場效晶體管」( Gate-all-around FET,GAAFET)是最佳解決方案。

  今年稍早,三星、格芯和IBM攜手,發布全球首見的5nm晶圓技術,采用EUV和GAAFET技術。 三星路徑圖也估計,FinFET難以在5nm之后使用,將采用GAAFET。 盡管晶圓代工研發不易,容易遇上挫折延誤,不過目前看來三星進度最快。 該公司的展望顯示,計劃最快在2020年生產,進度超乎同業,也許有望勝出。



關鍵詞: 4nm EUV

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