Entegris Inc. (NASDAQ:ENTG) 是為微電子行業提供特殊化學品和先進材料處理解決方案的領導者，今日推出了 Purasol?，這是一款首創的溶劑純化器，可去除超凈化學品制造工藝所用有機溶劑中發現的各種金屬微污染物。

　　這款新型多功能純化器采用獨特的定制薄膜技術，可以有效地去除各種超純、極性和非極性溶劑中的溶解性和膠狀金屬污染物。

　　Entegris 微污染控制部門高級副總裁 Clint Haris 表示：“隨著對金屬污染物的敏感度不斷增加，光化學品制造商正在尋找新的技術解決方案來處理各種各樣會導致產品瑕疵的污染物，這些污染物更難控制，且控制成本更高。在我們持續努力開發針對這些挑戰的超凈解決方案的過程中，我們研發了一種新型薄膜技術，能有效去除這些關鍵污染物。”

　　Purasol 純化器與大部分溶劑兼容，包括環己酮等難以去除的酮類，并且提供出色的潔凈度，具備極為關鍵的金屬去除能力，對污染物的去除性能達到萬億分之一或更優的等級。現有兩種產品選擇，針對不同的溶劑極性(極性和非極性)，去除已知會在光刻應用中導致缺陷的金屬。

　　有關 Purasol 純化器的更多信息，請蒞臨 SPIE 光電及光子大會(2017 年 2 月 28 日 – 3 月 1 日)Entegris 展位，或訪問www.entegris.com/purasol。