當前，我們正在經歷第四次工業革命的歷史進程，在這里催生了很多新技術和新市場，比如物聯網、人工智能、新能源、3D打印、納米技術等等。這么多新的技術和產品相互激勵、互相融合，共同推動半導體行業不斷發展，從而改變人類的生活方式。

在半導體行業的發展當中，除了有新技術作為推動因素，先進材料也是十分重要的。作為特殊化學品和先進材料解決方案的領導企業Entegris，在先進材料方面擁有十足的話語權。Entegris副首席技術官Montray C. Leavy 博士向本站記者分享了他們對于行業發展的新想法。

Entegris副首席技術官Montray C. Leavy 博士

Entegris成立于1966年，總部位于美國馬薩諸塞州Billerica，在整個全球大概有4千名員工，目前已擁有近3千個專利。公司有80%-90%的業務在半導體行業，其次是在生命科技領域。Entegris的主要產品以及解決方案包括了污染控制、先進材料的處理，以及先進材料的生產。

在當前的半導體市場中，物聯網的發展帶來數以億計的新產品，數字化、智能化也催生了很多產品和解決方案，這些都帶動了芯片產業的發展。

有發展就會有挑戰，對于芯片產業的挑戰，Leavy博士總結了幾點：“第一個挑戰，是對于產量以及成本的挑戰。因為物聯網會催生爆炸性的數據增長，我們的整個行業需要滿足客戶在產量增長方面的需求，也要滿足他們對復雜芯片的需求。第二個挑戰，是關于性能以及復雜性的。因為芯片的設計以及制造變得越來越復雜，芯片在今后是整個的3D結構，也就需要更新、更機器化的材料，所以就會增加整個流程的步驟，也增加了對于純凈度的一個要求。第三個挑戰，是關于良率以及可靠性的。良率以及可靠性，對于產品都是非常關鍵的。所有這些都對材料，以及純凈度提出了更高的要求?！?/p>

這樣的挑戰，對于Entegris來說也是機遇。Entegris有自己的創新技術和解決方案，能夠持續幫助客戶，并且對整個行業的發展做出努力。

對于提升芯片的產量、性能和良率，Entegris主要從四個方面入手，分別為材料科學分析、微污染控制、先進材料和卓越制造。

在材料科學以及分析方面，Entegris主要關注于這幾個方面：分離科學，表面科學以及污染分析源。在“微污染控制”方面，有非常先進的氣體、液體過濾以及提升純凈度的解決方案。另外還有特別針對先進晶圓制造的空氣分子污染控制（AMC）解決方案。關于先進材料的解決方案，包括了合成材料，包括一些高精度的氣體混合物、特種的覆膜，還有一些表面的準備材料、凈化材料，以及液體、氣體的儲存和運輸。最后，在“卓越制造”這些方面Entegris提供了非常先進的質量控制，并且達到了全球制造的生產覆蓋程度。這幾個方面，Entegris能夠為芯片產業提供先進的技術和科學支持。

Leavy博士還特別提到了關于液體、氣體運輸的問題。玻璃瓶一直是半導體器件制造過程中用于存儲、運輸和配送化學品的標準容器。但隨著器件尺寸越來越小，玻璃瓶成為了導致元器件缺陷的新根源。除此之外，隨著晶圓廠的規模擴大和自動化程度提高，人們對安全性日益關注，這促使業界開發玻璃容器的替代品。對此，Entegris研發了以聚乙烯內襯為基礎的瓶系統來替代用于潔凈化學品交付的玻璃容器，這種瓶系統采用 PTFE/ PFA 內襯，完全密封設計，減少了通過溢出或蒸發產生的化學品廢物，并且其重量更輕、強度更高且不易破碎，相比玻璃瓶也更為安全，運輸成本更低。

物聯網是物與物之間的互聯互通，進而催生了數據的爆炸式增長。預計到2025年，全球處理器市場預計將增長約350%，大量的數據需要被收集、被存儲，等待被處理，此時就需要3D NAND這樣的新產品。

3D NAND是一種新興的閃存類型，通過堆疊存儲單元來更加存儲量。不斷疊加的層數對工藝和材料要求嚴苛。因此，特殊化學品對于3D NAND來說十分重要，例如，如何隔離 3D NAND堆疊的不同電介質，將對 3D NAND 金屬前體提出新的需求。同時，隨著它的縱橫比越來越高，需要去清潔很多的堆疊層。Entegris研發了一款名為高選擇性氮化硅蝕刻(High Selective Nitride Etch)的產品，去實現這樣的功能。這是一款專門為3D NAND而研發的產品。如果沒有這個產品，96層的3D NAND 就做不出來。

在未來，96層的3D NAND將會達到128、256層，層數越高對于制造工藝的要求也就越高，就更加需要像Entegris這樣的公司提供更為創新、更有價值的產品和解決方案。

Entegris對于中國市場十分重視，尤其是中國已經走在物聯網領域的前端，需要更多的、更有創新意義的技術解決方案。據了解，Entegris在中國的業務發展已經超過25年的時間，在中國設有5個辦事處，并與國內一些先進的生產制造商及行業領先者建立了合作伙伴關系。例如，與福建博純材料有限公司及湖北晶星科技股份有限公司簽署合作協議，生產特種氣體產品及高純度沉積產品。

2018年，Entegris投入2500萬人民幣在上海建立了中國技術中心，用于推動公司對于應用支持方面進行測試。同時能夠對于專業的解決方案進行測試，幫助客戶發現問題、解決問題，并且和客戶共同進行相關的應用開發。這是Entegris建立全球基建的其中一部分。

Leavy博士表示：“我們也希望能夠用當地的語言和我們的客戶進行直接的溝通，這樣能夠取得實時的反饋。同時，也能夠將相關的信息和我們美國的技術團隊進行溝通，同時也避免了一些在語言不通的情況下造成一些信息的錯誤，以及信息的延遲。通過這樣的一個全球基建，以及本地化的客戶支持，能夠幫助我們持續的保持一流的、先進的產品以及解決方案的輸出?！?/p>