Imec發布EUV掩膜缺陷評估方面的成果
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Imec聯合合作伙伴發布兩份EUV掩膜評估結果，結果顯示EUV供應商須在檢測掩膜缺陷能力方面進行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補償技術。
本文引用地址：http://www.j9360.com/article/118835.htm
Imec聯合合作伙伴發布兩份EUV掩膜評估結果，結果顯示EUV供應商須在檢測掩膜缺陷能力方面進行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補償技術。
本文引用地址：http://www.j9360.com/article/118835.htm
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