GLOBALFOUNDRIES今天宣布與SVTC 技術公司結成戰略聯盟，加速進行微機電系統(MEMS)的量產制造。這項合作著重于技術開發合作，將有助GLOBALFOUNDRIES達成目標，成為MEMS晶圓廠的領導者。

　　微機電系統(MEMS)是半導體市場成場最快的區塊之一，MEMS應用廣泛，從車用感應器、到噴墨打印機、到高端智能手機與游戲控制器都有MEMS的應用。然而MEMS的制造過去主要局限于特定的晶圓制造廠，采用“單一制程、單一產品”的方式。為了讓MEMS市場得以持續快速成長，GLOBALFOUNDRIES正采取積極策略，通過與CMOS流程類似的標準化方式，將MEMS從特定制造平臺轉移到量產平臺。

　　200mm晶圓事業部高級副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經理Raj Kumar表示：“在MEMS轉移到CMOS量產方面，GLOBALFOUNDRIES萬事具備，可望扮演領導者角色。我們在MEMS制造方面向來表現優異，也有許多以CMOS為基礎的科技可以運用到MEMS上。目前已有計劃要增加基礎建設與專業技術來支持在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產線，目標是在2011年第三季前開始MEMS裝置的量產。”

　　新興硅晶圓科技商用服務供應商的領導者SVTC，將提供全面的開發設施，協助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先進CMOS與MEMS設備，為顧客開發硅晶圓解決方案。SVTC也將為GLOBALFOUNDRIES工程師提供MEMS技術研發支持及培訓。

　　SVTC首席執行官Bert Bruggeman表示：“MEMS技術市場正蓬勃發展，但無晶圓廠設計公司目前可將MEMS設計量產上市的選擇有限。我們相信，我們最尖端的研發設施與MEMS專長將協助GLOBALFOUNDRIES改造MEMS晶圓市場環境，為世界頂尖設計公司提供量產CMOS制造服務。”

　　GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研發將先著重于三種應用：加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統。加速計在手機與消費電子產品上提供高級用戶體驗;陀螺儀提供個人導航的影像穩定與方向偵測能力;無線電射頻微機電系統則支持手機的多頻段操作，同時縮小手機體積并減少電力消耗。

　　GLOBALFOUNDRIES的MEMS產能主要來自位于新加坡的3E晶圓廠。該地區正迅速成為MEMS市場的重要樞紐，而GLOBALFOUNDRIES也在其中扮演重要角色。GLOBALFOUNDRIES 是新加坡科技研發局(A*STAR) MEMS集團(MEMS Consortium)的創立成員之一;集團成員包括多個跨國公司，涵蓋從電腦輔助設計(CAD)到封裝的完整MEMS供應鏈。