來源：芯榜+

EUV，即 ASML 最先進的機器所使用的光波波長，指的是電磁波譜中波長從 121 納米到 10 納米的電磁輻射所在的頻段。ASML CEO 彼得·溫寧克（Peter Wennink）告訴媒體，過往 10 年間該公司已出售大約 140 臺 EUV 光刻機，單價約 2 億美元一臺。 

新一代光刻機擁有：高產能和高數值孔徑 (High-NA)  EUV 曝光系統

據報道，ASML 正制造新款極紫外光線（EUV，extreme ultraviolet）光刻機，預計每臺售價約 4 億美元，或將在 2023 年上半年完成制造，并有望在 2025 年用于芯片供應商。

為了實現在2nm世代制造更精細的半導體，我們需要具有高產能和高數值孔徑 (High-NA) 的下一代 EUV 曝光系統。

High-NA EUV光刻機的工作原理類似于當今的 EUV 光刻，但存在一些關鍵差異。例如與傳統鏡頭不同，高數值孔徑工具包含一個變形鏡頭，支持一個方向放大 8 倍，另一個方向放大 4 倍。所以字段大小減少了一半。

在某些情況下，芯片制造商會在兩個掩模上加工一個芯片。然后將掩?？p合在一起并印刷在晶圓上，這是一個復雜的過程。

據悉，該光刻機重達 200 多噸，有“雙層巴士”那么大，旨在生產可用于手機、筆記本電腦、汽車以及人工智能等領域的計算機芯片上所需的微觀電路。

據報道，ASML正制造新款極紫外光線（EUV）光刻機，預計每臺售價約4億美元，或將在2023年上半年完成制造，并有望在2025年用于芯片供應商。

ASML希望從2024年起在客戶工廠安裝該機器。ASML宣布，即將推出的EUV已經有五家以上的客戶訂購。該機器有望使芯片電路減少66%。

摩爾定律已死的說法也傳了多年，因為在28nm節點之后芯片工藝迭代越來越困難。

臺積電、三星等公司靠著各種技術手段將芯片制成推進3nm節點，1nm之后，量子隧穿效應有可能會讓半導體失效。

未來工藝會如何走？在日前的FUTURE SUMMITS 2022大會上，IMEC（比利時微電子中心）展示了最新的路線圖，一路看到了2036年的0.2nm工藝。

簡單來說，今年試產N3工藝之后，2024年會有2nm工藝，2026年則是A14工藝——A代表的是埃米，是納米之后的尺度，A14工藝可以理解為1.4nm工藝，Intel之前提出的A20、A18工藝就相當于2nm、1.8nm工藝。

臺積電在3nm工藝完成研發之后會把團隊轉向未來的1.4nm工藝研發，預計6月份啟動。

接著看路線圖，IMEC預計在2028年實現A10工藝，也就是1nm節點了，2030年是A7工藝，之后分別是A5、A3、A2工藝，2036年的A2大概相當于0.2nm節點了。

IMEC的路線圖基本上還是按照摩爾定律2年升級一代的水平發展的，證明了未來芯片工藝還可以迭代下去。

當前的尖端半導體器件采用了“FinFET（翅片型電場效應晶體管）”結構，但是預計從2nm世代以后開始將采用下一代晶體管“GAA（Gate-Al-Around）”、“CFET（Commplementary FET）”等。

為了實現這一點，需要在晶體管內的通道中應用諸如二硫化鎢等新材料。

與此同時，實現1nm及以下工藝，晶體管架構也要改變，我們知道臺積電及三星會在3nm或者2nm節點放棄FinFET轉向GAA結構，而在A5之后還要再轉向CFET晶體管結構。

總之，挑戰是巨大的，要知道IMEC這個預測還是很樂觀的，但未來10多年的發展中，新工藝不跳****是不可能的，0.2nm工藝或許要到2040年時代才有可能了。

ASML的CEO Peter Wennink 展示 High-NA 的EUV曝光裝置

呼吁半導體價值鏈聯合起來！

在活動中，除了imec之外，還有多家半導體相關企業也進行了演講。ASML CEO Peter Wennink介紹了EUV曝光裝置的開發狀況，他說“今后15～20年將為業界的發展提供支援”。他還表示，“為了實現1.4nm世代以后的發展，需要強有力的合作”，強調了與各種合作伙伴企業合作的重要性。

imec的聲明說：“半導體行業正以前所未有的需求蓬勃發展。芯片作為我們智能便攜式設備、物聯網系統和計算基礎設施的組成部分，嵌入到我們的日常生活中。

“然而，半導體制造是有代價的。它需要大量的能源和水，并產生危險廢物。要解決這個問題，整個供應鏈都需要做出承諾，而生態系統方法將是關鍵?！?/span>

雖然system和fabless公司已經在投資對其供應鏈和產品進行脫碳，承諾到2030年或2040年實現碳中和的，但由于可用的生命周期分析數據有限，它們通常對芯片制造對未來技術的貢獻缺乏準確的見解。

imec通過其SSTS計劃，呼吁整個半導體價值鏈聯合起來，減少半導體行業的環境足跡。該計劃結合了imec的合作伙伴生態系統、加工技術、基礎設施和機械方面的見解，為整個行業提供合作伙伴。