盡管美國CHIPS項目辦公室此前已宣布，將關閉對半導體工廠或晶圓廠的聯邦資助機會，但對半導體其他細分領域廠商的資助依然持續。當地時間6月26日，半導體材料廠商Entegris宣布，根據《芯片與科學法案》而獲得美國政府7500萬美元的直接補助。最新消息是，美國政府近日又資助了一家MEMS代工廠商。當地時間7月1日，美國商務部宣布與MEMS代工廠Rogue Valley Microdevices（以下簡稱“RVM”）達成初步條款，支持其建設新晶圓制造廠。據悉，美國商務部已與RVM簽署了一份不具約束力的初步條款
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