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新方法可能制造出更細微的芯片紋路

作者: 時間:2009-04-12 來源:MIT 收藏

  的研究人員已經找到一種全新的方式,只需要一種能在透明與非透明狀態之間轉換的材料,用特定波長的光照射,就能在微型上獲得極細的線條。這種材料并不新奇,但研究人員找到了一種全新的方法來利用這一特性,用于構造出極其細微線條的透明蒙板,用這個蒙板可以在材質上創建出對應的細微線條。制造這樣細微的線條對于很多新技術而言是關鍵的,從不斷追求往一塊上加入更多元件的制造業,到日漸顯露頭角的納米技術。但這些技術都面臨一個極限,即他們都要依賴于光的波長,大多數技術無法獲得比光波長更小尺度的圖樣,而這個新技術則彌補了這一點。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/93348.htm

 

  問題的關鍵在于使用干涉圖樣,不同波長的相干光在不同位置會彼此增強或抵消。研究者將這種對光反應變色的材料,材料改變顏色后,便會對對應的光線透明。曝光時用一對圖樣的蒙板,各自采用不同波長的光同時進行曝光。當一種波長的亮線與另一種波長的暗線對應交疊時,極細小的線條就產生了。這一層材料便可作為蒙板,用第一種波長的光線照明,就像用負片在相紙上沖洗出照片一樣,在底層材料上留下圖樣。

  這個研究是由電子學研究實驗室工程師Rajesh Menon和化學系研究生Trisha Andrew以及電子工程與計算機科學系的研究生Hsin-Yu共同完成的,研究的論文已經發表在4月10日的《科學》雜志上。

這項了不起的新技術,研究人員成為吸光率調制,使得制造出所用光線波長十分之一粗細的線條成為可能。成功實現這一過程的部分關鍵在于找到合適的光敏材料,其在最初曝光之后透明與不透明區域都應保持穩定。

使用這種方法,研究團隊制造出了36納米寬的線條,并宣稱他們還可以制造出許多同樣大小間隔的線條。

Menon說,這種技術會對芯片制造帶來顯著的沖擊,也會使依賴于納米尺度技術的新興領域的研究工作成為可能,包括納米光子學,納米流體力學,納米電子學以及納米生物系統。

Menon已經成立一個公司,以繼續這項技術的研發,他期望能在5年內實現商用化。

但這并不是這一技術唯一的潛在運用,Menon稱他的團隊正在尋求這套系統在成像系統中的可能運用,有可能使納米尺度的新型顯微鏡成為可能,這在生物學與材料科學中將有巨大應用前景。同時,他也在尋求使用這種技術把類似圖案的尺度降低到單個分子的大小。


關鍵詞: MIT 芯片

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