美國吉時利（Keithley）儀器公司日前發布了ACS（Automated Characterization Suite）自動特征分析套件集成測試系統。該測試系統實現器件級、圓片級和黑盒級半導體特征分析工作。包括ACS集成測試系統在內，吉時利已在半導體特征分析領域成功建立整套高度可配置的靈活測試系統，并通過功能強大的自動化軟件為用戶提供無可比擬的測量性能。ACS測試系統通過統一軟件套件，提供更快測量速度和更大系統靈活性，以滿足用戶獨特的測試應用需求。

　　在統一自動特征分析套件中、吉時利ACS集成測試系統整合各種測試硬件，具有全面而獨特的測量能力：

　　吉時利強大的4200-SCS半導體特征分析系統具有I-V源測量功能和專業脈沖測試工具包，例如用于先進半導體材料測試的4200-PIV工具包。

　　2600系列數字源表®測試儀具有TSP-LinkTM和測試腳本處理器（TSP）TM，可在運行狀態下的NBTI測試或圓片級器件特征分析等應用中實現可擴展的I-V通道系統、高速并行測量和復雜測試序列等功能。

　　2400系列數字源表®測試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅動器測試等領域。

　　此外ACS集成測試系統還為用戶提供可選擇的開關、C表和脈沖發生器等附件。

　　ACS集成測試系統具備兩類配置：基本臺式配置，和用于生產環境集成的全高度機架式配置。

迎接測試的挑戰

　　半導體測試工程師現今面臨各種測試任務挑戰。一方面，各種新技術涌現亟需大量特殊測量工作和新型測試技術，諸如可伸縮CMOS、LDMOS和先進半導體存儲技術。另一方面，新技術需在更短時間內和占用更少資源的前提下完成更多測試任務和數據采集工作。目前，半導體測試工程師們所使用測試儀器已具備較好靈活性和獨特的測量功能，但仍需親自編寫或采用第三方開發軟件，從而影響其產品上市時間及增大總測試成本。吉時利ACS集成測試系統突破該局限，除了具備靈活而獨特的儀器測量功能，而且提供靈活、自動化的軟件環境，充分滿足了用戶需求。吉時利新型ACS系統非常適合技術研發、工藝研發（TD）、質量可靠性保證（QRA）和小規模生產測試等領域的半導體參數特征分析工作。

　　圓片級或黑盒級自動化測量工作常具有諸多特點，包括需要測試和采集建模和工藝鑒定所需大量數據統計樣本，以及最大限度工具利用率。在圓片級，吉時利ACS集成測試系統具有圓片描述工具（Wafer Description Utility）和圓片繪圖功能。用戶能夠方便地創建帶有集成測試規劃的圓片描述文件。帶有顏色編碼圓片圖能夠在執行測試過程中實時刷新，顯示Pass/Fail情況和清晰可見的測試結果，確保高產能測試輸出。

　　該系統另一創新之處在于采用交互式探針控制器。用戶利用ACS軟件控制圓片運動，在測試開發過程中及真實結構下驗證測試配置方案，并在批量處理情況下定位到圓片問題區域，進行手工測試。其中提供全系列驅動器能夠無縫集成各種半自動和全自動探針。

　　吉時利ACS集成測試系統同樣為用戶提供吉時利半導體應用專業技術支持和功能定制支持，包括測試例程開發（例如宏、腳本和自定義GUI）、互連方案（包括電纜、開關、探針卡適配）以及安裝、培訓和應用服務。