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臺新技術突破PSS瓶頸 良率接近100%

作者: 時間:2014-11-02 來源:LEDinside 收藏

  有許多制程,“圖案化基板()”是其中之一,業界現以“黃光微影”技術處理,產能有限,良率亦不理想。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/264724.htm

  臺灣成功大學機械工程學系教授李永春帶領團隊開發出全新的“軟性光罩微影”技術,良率幾乎百分之百,克服業界頭疼的量產、良率等問題。業界看好此技術前景,與該團隊合作,希望以“軟性光罩微影”關鍵技術與元件,支援下一世代產業的發展,并進軍韓國、大陸、日本的市場。

  李永春教授表示,采用的基板硬度極高,在講究LED高發光效率的要求下,必需在基板上做出極微小、細密的圖案結構,才能有高的發光效率。5年前業界采用玻璃光罩技術,但硬式玻璃光罩與基板的貼合度不佳,很難在基板上做出細膩的圖案與結構。后來改用投射式黃光微影技術與步進式曝光機臺,但此技術適合處理半導體產業中小面積與個別圖形的曝光,用于LED-PSS大面積為結構的曝光時,會有費時、費工、圖形接縫、光學失焦…等問題,且量產效率低,良率亦不甚理想。

  李永春教授指出,軟性光罩微影技術,以軟性材質覆于基板上,沒有昔日玻璃光罩技術的硬碰硬、做不出細膩結構的問題,也沒有黃光微影只適合小面積曝光的困擾。以軟性光罩微影技術做出的PSS,有效的克服上述兩個問題,而且過程極為穩定。李永春教授說,現行的黃光微影技術,要在PSS上做出高解析度的小型圖案,以6寸大小的產品為例,1小時只能做4、5片,而且還有良率不理想的問題,估計1小時生產的可用品約2片,若改采用軟性光罩處理技術1小時可做4、50片,也沒有良率的問題,至于代工費用,采用黃光微影制程1片約80至100美元,改用軟性光罩處理技術可以降低約一半的制程成本。

  李永春教授強調,成大開發的軟性光罩微影技術,不只革命性的克服了業界長期以來生產PSS的大瓶頸,還有一層極重大的義意——技術自主。李永春教授表示,目前業界已紛紛打探軟性光罩微影技術,預定明年初的第一季即可問市,估計一到兩年后業界就會大舉跟進。



關鍵詞: LED PSS 藍寶石

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