您知道工廠里將近 50% 的報廢是人為錯誤造成的嗎（參見圖 1）？ 實現異常管制計劃（OCAPs）的自動化是一個獲得投資回報的重要機會。

OCAP是供工程師為了解和糾正流程或生產設備上的缺陷而遵循的計劃。例如，如果統計過程發生異常，相關設備的處理就會停止，從而允許工程師執行一系列任務，使設備盡快恢復在線狀態。

圖1 雖然其他原因通常被認為是停機的最大原因，但人為錯誤是停機的最大因素

數據可用性、可訪問性和完整性

但是，并非所有的任務都是現成的，或是平均地分配給工程師，并且沒有一個流程中的單一參數數據集能夠提供變異來源的完整圖景。用于控制計劃的數據通常駐留在不同的組件中，如SPC或FDC，它們各自具有的集成方法和數據結構模型。在某些情況下，數據不存在、不完整，或者是在某個人的筆記本電腦上手動進行維護。此外，正確執行恢復任務需要工程師制定適當的計劃，閱讀并理解步驟，然后正確地執行這些步驟。

內建方法的價值

如今的晶圓廠需要一種更具凝聚力的方法，一種管理信息集并擴展設施自動化智能的方法。圖2概述了這種方法的需求，并重點介紹了實現具有適當功能的OCAP解決方案的價值。

圖2 使用適當的自動化策略，OCAP解決方案可使解決SPC和FDC違規的速度提高40%

減少可變性的集成工作流

為成功實施OCAP的這些組成部分并在您的工廠中擴展自動化智能，SmartFactory Knowledge Advisor提供集成的工作流引擎，該引擎可以：

●   在工作流中如上下文模式匹配（CPM）和數據模式中嵌入 AI 功能，幫助引導用戶

●   讓用戶能夠制定解決異常的行動計劃

●   通過提供具有直觀用戶界面體驗的工作流詳細信息來指導用戶解決錯誤（參見圖 3 示例）

●   減少與錯誤解釋因果關系相關的人為可變性

●   管理行動跟蹤，識別以前的故障排除活動

圖3 此示例計劃說明了瀏覽器上Web Analytics中用戶界面的可用性，并展示了如何在右側的主面板中輕松查看左側所選步驟的詳細信息

Knowledge Advisor有何與眾不同之處？

許多第三方或內部OCAP解決方案缺乏多規程方法所需的“自動化掛鉤”。例如，它們可能只與SPC應用一起工作，而缺乏從其他系統收集數據以幫助排除異常故障的能力。

然而，Knowledge Advisor可容納來自任何應用材料 E3?解決方案的數據，包括高級過程控制（APC）、SPC、FDC和配方管理（RM）。如圖4所示，該解決方案利用應用材料E3的全部功能，促進從各種來源和AI功能收集數據。

圖4 Knowledge Advisor是唯一一套用于構建與SmartFactory E3系列完全集成的異常解決行動計劃的解決方案

通過使用通用平臺，工程師可以更好地管理配方、設備、SPC和FDC違規。如果您將E3用于FDC或 SPC，那么擁有一個通用平臺可以為您減少跨CIM的管理點。

結論

在當今的晶圓廠中，人為錯誤是造成報廢和停機的最大原因。自動化的成本必須對照回收和報廢的成本來考慮。因此，關鍵是衡量什么樣的自動化水平適合保持具有競爭力的利潤率和對未來增長的投資。Knowledge Advisor旨在為客戶提供具有成本效益的靈活性。憑借其集成和準確決策的能力，Knowledge Advisor使用戶能夠更有效地解決設備和流程故障。主要成果包括減少重復違規和錯誤決議、改進審計合規、標準化錯誤處理活動和減少信噪比管理的AI能力。

我們的SmartFactory自動化解決方案已經服務半導體行業超過30年，并在半導體工廠的各個方面都擁有一流的專業技術。