李?丹?（賽迪顧問?集成電路產業研究中心，北京?100048）

　　摘?要：在國內集成電路制造領域多個生產線項目的新建或擴產帶動下，設備需求量快速增長，國家出臺多項稅收優惠政策，國產集成電路設備企業迎來政策紅利，進口替代是國內半導體設備公司面臨的重大機遇和挑戰。

　　關鍵詞：集成電路；測試設備；進口替代；政策紅利；泰瑞達

　　在市場拉動和政策支持下，我國集成電路產業快速發展，整體實力顯著提升，集成電路的設計、制造能力與國際先進水平差距不斷縮小，封裝測試技術逐步接近國際先進水平，部分關鍵裝備和材料被國內外生產線采用，涌現出一批具備一定國際競爭力的骨干企業，產業集聚效應日趨明顯。2018年，在國內集成電路制造領域多個生產線項目的新建或擴產帶動下，設備需求量快速增長，全年中國集成電路設備市場銷售額達到867.5億元，同比增長56.8%。預計2019年，中國集成電路設備市場會較2018年有小幅增長，銷售額可達930.7億元，同比增長7.3%。

　　1 2018年中國集成電路測試設備市場發展現狀

　　半導體檢測包括工藝檢測(在線參數測試)、晶圓檢測(CP測試)、終測(FT測試)，國內公司目前主要涉足在后兩者，這兩個環節的檢測設備價值量約占整個半導體制造設備投資的9%，按照全球每年550億美元以上的設備銷售來測算，檢測設備年市場空間超50億美元。其中，中國集成電路測試設備市場規模達到57.0億元，實現了23.4%的穩定增長。隨著中國多家晶圓廠陸續投產及量產，國內封測廠將陸續投入新產線以實現產能的配套擴張，將帶動國內半導體測試設備行業高速增長，預計2019年中國集成電路測試設備將增長至60.5億元，增長速度繼2018年后繼續下滑至6.1%，2020年依然保持平穩增長，市場規模將達64億元（如圖1）。

　　測試機（ATE）是檢測芯片功能和性能的專用設備，分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專用設備，與測試機共同實現批量自動化測試。從測試設備的產品結構來看，預計2019年中國測試機和分選機分別占據后道檢測設備62.8%和17.4%的市場份額；探針臺占比達到15.1%；其它相關測試設備占比為4.7%（如圖2）。

　　預計2019年中國測試機的市場規模達37.7億元，分選機市場規模10.7億元，探針臺市場規模達9.3億元，其他相關測試設備市場規模達6.4億元（如圖3）。

　　2 中國集成電路ATE市場發展現狀及競爭格局

　　受集成電路ATE（測試機）行業快速增長以及進口替代的影響，2018年中國集成電路測試機市場規模達到36.0億元，增速為41.7%，在整體測試設備市場中的份額占比快速提升。受行業周期以及產業環境不確定性的影響，預計2019年中國集成電路ATE市場規模達到37.7億元，較2018年只增長4.7%，增長速度明顯放緩（如圖3）。

　　從測試機的產品結構來看，2018年中國集成電路測試機中存儲器測試機和SoC測試機所占份額位居前兩位，分別為43.8%和23.5%；數字測試機、模擬測試機、分立器件測試機緊隨其后，分別為12.7%、12.0%以及6.8%，RF測試機為0.9%（如圖4）。

　　從競爭格局來看，目前中國集成電路測試機市場主要被國外企業瓜分，本土企業雖然與國際龍頭相比在規模和技術方面仍然存在一定差距，但是近幾年進步較大，市場份額逐步提升，相繼涌現出華峰測控、長川科技等企業。

　　2018年，中國集成電路測試機市場中，泰瑞達、愛德萬測試、Cohu的銷售收入分別為16.8億元、12.7億元和3.3億元，占比分別為46.7%、35.5%和9.2%，總市場份額超90%，達到91.2%。國內的華峰測控和長川科技近幾年發展迅速，測試機的銷售額已經達到2.2億元和0.86億元規模。

　　3 中國集成電路測試機設備發展機遇與挑戰

　　3.1 國家出臺多項稅收優惠政策，國產集成電路設備企業迎來政策紅利

　　集成電路企業正迎來退稅政策紅利，在中美貿易摩擦升溫的背景下，出口企業面臨額外征稅壓力，提高產品增值稅出口退稅率對企業而言非常重要。另外，財政部和國家稅務總局發布留抵退稅方案，實行退還留抵稅額，這一政策可直接增加集成電路企業當期現金流，改善企業經營條件，加大科技創新投入力度，助力企業可持續發展。伴隨著政策的推動、市場需求的擴大以及國產替代進程的增速，國內企業有望更多分享產業發展紅利，未來中國集成電路測試設備市場有望迎來發展的機遇期。

　　3.2 進口替代需求迫切，測試設備的國產替代進程或將加速

　　受中美貿易摩擦影響，供應鏈的安全日益受到重視，國產測試設備將得到更多的試用機會，在中低端模擬測試機和分選機領域，國產替代明顯提速。目前絕大部分半導體設備依然高度依賴進口，提升“核芯技術”自主化率已迫在眉睫，上升至國家戰略，進口替代是國內半導體設備公司面臨的重大機遇。2018年以來，國產半導體測試設備向中國大陸市場拓展，國產替代進程明顯提速。

　　3.3 國內集成電路市場需求規模龐大，集成電路設備市場空間廣闊

　　在集成電路產業鏈全球化分工中，美國擁有最先進的設計技術和部分裝備優勢，日本憑借基礎材料和精密設備牢牢把控集成電路制造的支撐環節，歐洲在高端光刻機和特色工藝制造方面獨樹一幟，中國臺灣地區憑借代工制造模式引領了全球集成電路制造業發展。中國大陸地區則是全球最大的整機加工和消費市場。近三年，全球有62座晶圓廠陸續建設，國內在建和計劃建設26座12英寸晶圓廠，占全球份額為42%。國內晶圓建廠高峰對設備需求巨大，國際上企業的設備產量有限，將為國產設備帶來大量訂單，是國產設備廠商擴大市場份額的絕佳時機。另一方面，中國本土芯片設計公司近年來蓬勃發展，對芯片測試需求也迅速增長。

　　3.4 檢測設備市場高度壟斷，設備核心技術仍然受制于人

　　檢測種類繁多，客戶需求多樣化，因此檢測設備往往存在非標定制化的特點。根據性能要求的不同，檢測類別也是五花八門，包括外觀尺寸測試、視覺測試等。隨著生產流程的愈發精細化、復雜化，檢測工序的地位也是日益提升。雖然相比于光刻機、刻蝕機等前道設備，檢測設備的制造相對容易一些，但是也存在較高的推廣難度。目前全球測試設備市場份額主要被美、日等發達國家的先進廠商所占據，半導體檢測設備行業已經形成了泰瑞達、愛德萬兩家壟斷的局面。國內半導體設備廠商想要提高市場份額依然面臨巨大挑戰。

　　4 中國集成電路測試機設備發展建議

　　國內整個集成電路產業都比國外發展起步晚，提高國產集成電路測試設備國產率最關鍵的手段是提升下游應用，支持測試設備企業加快提升產品技術水平，進入生產線驗證試用。鼓勵國內設備企業聯合建立產品驗證平臺，積累國產測試設備數據，加快提升設備的國產化水平，進而加強國產測試設備對集成電路制造業的支撐效力。

　　集成電路設備領域基礎薄弱，核心零部件和關鍵原材料技術提升非常困難。關鍵設備以及上游零部件核心技術仍然被國外龍頭企業所掌控。集成電路制造是系統性工程，國外企業先發優勢明顯。我國設備產業發展處于跟隨狀態，無論是核心零部件還是關鍵材料都會遭遇知識產權壁壘，短期內也難以實現全面突破。產業發展面臨的形勢異常嚴峻，必須埋頭苦干、深耕細作，從工業基礎能力開始全面提升綜合實力，為核心技術自主可控打好基礎。

　　作者簡介：

　　李丹，女，理學博士，工程師，高級分析師，研究方向：集成電路材料與設備、化合物半導體、人工智能芯片。

　　本文來源于科技期刊《電子產品世界》2019年第10期第4頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。