上海新昇

　　上海新昇半導體科技有限公司12英寸大硅片項目位于上海浦東新區臨港重裝備園區，一期項目投資18億元，設計產能為15萬片/月的12英寸硅片，預計全年電子級多晶硅使用量為450噸，目前已經投產。

　　作為國內首個300mm大硅片項目，上海新昇的動態一直備受業界關注，繼向上海華力微銷售正片后，日前再傳出好消息：其大硅片已通過中芯國際認證。

　　上海新昇項目于2015年7月正式動工，自2017年第二季度開始有擋片、空片、陪片等測試片的銷售，并向中芯國際、上海華力微、武漢新芯等晶圓制造企業提供正片進行認證。2018年一季度末，上海新昇300mm硅片正片通過上海華力微的認證并開始銷售， 如今終于傳來好消息。12月20日，上海新陽在互動平臺上透露，上海新昇公司大硅片已通過中芯國際認證。這對于上海新昇甚至整個國產硅片而言都是個好消息。

　　項目優勢：

　　1.本項目所使用的技術均來自上海新昇開發的技術以及引進部分關鍵核心技術，在生產設備與機臺的選型上采用具有國際或國內先進水平的高效低耗的設備，以降低能耗。

　　2.上海新昇將設立專職的研發部門，分別為前后段的工藝、設備、品管和產品優良率從事研究和開發工作。

　　3.上海新昇與韓國的S公司和美國的K公司達成協議，三方組成研發團隊，共同為本公司的各種拉晶爐進行不斷的研發與改進。同時上海新昇的研發團隊還將對“回火爐和表面處理爐”等關鍵技術和設備繼續研發。

　　目前該項目已經投產，產品已經通過了華力微電子的認證，中芯國際認證。

　　西安奕斯偉硅產業基地項目

　　西安奕斯偉硅片技術有限公司成立于2018年2月，是奕斯偉科技有限公司(ESWIN)在西安成立的硅材料制造公司。該項目投資30億元，地點位于長安通訊產業園區，設計產能為5萬片/月的12英寸硅片。從開工到投產運營預計共21個月，于2020年6月投產。

　　1月17日，西安奕斯偉硅產業基地項目正式封頂， 最終目標：月產能100萬片

　　項目優勢：

　　1.拉晶方面將優選具有最佳直徑控制系統和生長系統的拉晶爐，配備32寸的熱場，通過加載超導磁場控制熔體對流，拉直無錯位的單晶硅棒。

　　2.硅片加工技術采用目前業內最先進的切片設備，保證硅片的切制品質，配置德國的拋光設備，保證硅片表面的幾何結構達到先進納米制程的需求。

　　3.在清洗設備的選擇上，將選擇最佳的日本清洗設備，配置最高等的潔凈間設計、動力供給和生產管控，去除硅片表面殘留的顆粒。

　　4.外延工序，優選最佳的美國外延設備，該設備能有效降低外延生長過程中原子間的滑移，確保外延片的質量。

　　鄭州合晶硅片項目

　　鄭州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月，是由臺灣合晶科技集團下屬的上海合晶硅材料有限公司和上海晶盟硅材料有限公司共同出資組建，投資12億元在鄭州航空港經濟綜合實驗區建設年產240萬片200mm硅單晶拋光片生產項目。臺灣合晶科技集團公司是全球第七大硅片供應商，也是全球前三的低阻重摻硅片供應商，致力于半導體硅片產業已有20余年。

　　本項目設計生產200mm輕摻硅單晶拋光片(輕摻硼、輕摻磷)120萬片/年;200mm重摻硅單晶拋光片(重摻硼、重摻磷、重摻砷、重摻銻)120萬片/年，每年約消耗300萬噸電子級多晶硅。

　　項目優勢：

　　1.采用先進的直拉法長晶技術，長晶條件穩定，可得到電阻率及摻質分布均勻的優質單晶。

　　2.應用先進的液體覆蓋直拉技術，即在晶體生長室內充入惰性氣體，使其壓力大于熔體的分解壓力，以抑制熔體中揮發性組元的蒸發損失。

　　3.使用清潔的面清洗電子級多晶硅原料，從源頭上減少污染物的產生。

　　4.采用先進的切、磨、拋和潔凈封裝工藝，保證產品質量和優良的性能指標。

　　5.本次工程中的長晶爐、坩堝、石墨加熱器、線切割機/鋼線、研磨機及配套組件均選用國外先進生產設備。

　　6.采用節能設備降低能耗，并使用自控技術方案，提高了生產自動化水平。

　　安徽易芯

　　安徽易芯半導體公司年產160萬片12英寸半導體硅片項目，地點位于合肥市新站區佳海工業園，一期項目總投資8900萬元建設年產96噸12英寸半導體級單晶硅棒，每年約消耗97.2噸電子級多晶硅。

　　項目優勢：

　　1.本項目所使用的技術均來自安徽易芯開發的技術以及引進部分關鍵核心技術，在生產設備與機臺的選型上采用具有國際或國內先進水平的高效低耗的設備，以降低能耗。

　　2.一期項目單晶硅棒生產過程中使用的原料主要為免洗多晶硅，輔料有母合金(主要成分為硅)，符合清潔生產要求。

　　北京有研

　　北京有研科技集團有限公司(簡稱有研集團)創建于1952年，是我國有色金屬行業以創新為引領的綜合性工程技術研究開發和高新技術產業培育實體，現為國務院國資委管理的中央企業，注冊資金為30億元。

　　公司主要從事微電子與光電子材料、新能源材料、有色金屬特殊功能材料、有色金屬結構材料與制備加工技術、有色金屬粉末及粉末冶金、有色金屬選礦冶金技術、特種裝備研制、有色金屬材料分析與測試、有色金屬科技情報與軟科學、材料計算與模擬仿真等領域的工程化技術研究開發、服務和產業化。在半導體材料、有色金屬復合材料、稀土材料、生物冶金、材料制備加工、分析測試、新能源材料等領域擁有16個國家級研究中心和實驗室，承擔了一批國家重大科技專項研究課題和國家戰略性新興產業開發項目。

　　產品信息：

　　大直徑單晶硅(片)：有研總院擁有國內規模最大、技術水平最先進的集成電路用硅單晶生產能力，可生產直徑200mm-450mm的系列大直徑單晶硅棒、重摻硅拋光片和輕摻拋光片。產品得到了美國、日本和韓國等重要高端客戶的高度評價，主要應用于大規模集成電路領域。

　　區熔單晶硅：有研總院具備生產系列區熔硅單晶產品的能力，產品用于電力整流器、晶閘管、可關斷門極晶閘管(GTO)、功率場效應管(MOSFET)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)、功率集成電路(PIC)等電力電子器件。