ALD中射頻阻抗匹配器的設計與研究 作者： 時間：2012-05-31 來源：網絡 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> 根據理論分析和軟件仿真，在沒有等離子體時，射頻電源已經和負載阻抗實現了阻抗匹配。當射頻電源的功率為30 W時，等離子體雖然能啟輝，但光亮很暗，此時反射功率為10．2 W，反射系數模值為0．33，反射系數模值比較高，系統處于失配狀態，繼續調整匹配網絡的參數，使系統的反射功率降低直至零。如圖3所示，此時射頻電源顯示反射功率為0，正向功率為30 W，反射系數Γ=0，能量全部為負載吸收，系統處于匹配狀態，等離子體發出耀眼的光。如圖4所示。本文引用地址：http://www.j9360.com/article/154774.htm 上一頁 1 2 3 4 下一頁
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