ALD中射頻阻抗匹配器的設計與研究 作者： 時間：2012-05-31 來源：網絡 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> ALD中負載線圈是一個匝數為4，直徑為120 mm的電感線圈。使用阻抗分析儀測得其電感量為1 900 nH。利用ADS軟件中的Smith圓圖功能調整匹配網絡的參數值，把電路模型的阻抗調整到Smith圓圖的中心點，即特性阻抗50 Ω，得到的結果如圖2所示。此時得到一組阻抗匹配網絡參數可用于沒有產生等離子體的情況，如表1中等離子體產生前狀態的參數值所示。本文引用地址：http://www.j9360.com/article/154774.htm 上一頁 1 2 3 4 下一頁
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