魔術人人會變，關鍵是看誰更專業、手法更純熟。在清潔生產的大舞臺上，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司上演了一出非常專業的“魔術”，在不到三年的時間內共實施了35個清潔生產項目，靠清潔生產每年能“撿”到886.3萬元的經濟效益，節電195.5萬度。

　　同時，該公司也將于年底前再次收到浦東新區環保協會給予的300萬元基金補助，協助企業在環保方面的持續投入和不斷改進。

　　廢氣處理效率超過96%

　　日前，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司PFCs氣體減排項目已正式完成，新裝的65臺電加熱水洗本地廢氣處理設備全部投入運行。該項目總投資2343萬元人民幣，預計等效二氧化碳減排將達到每年4.28萬噸。

　　集成電路制造業的一大特點是廢氣量大、污染種類多。中芯國際在建廠初期就投入巨資用于廢氣治理設施，每年持續投入數千萬元用于廢氣治理運營。

　　“近兩年，中芯國際每年投入上千萬元用于主動減排PFCs氣體，并建立了PFCs氣體減排的專業團隊。”中芯國際集成電路制造(上海)有限公司企業環保安全衛生處處長殷有雄說。

　　據悉，PFCs是指全氟碳化物，在半導體制造領域，主要在薄膜工序中作為清潔氣體使用和在干法刻蝕工序中作為工藝氣體使用,使用氣體包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、SF6等。這些氣體能破壞地球的臭氧層產生溫室效應，減少全氟碳化物(PFCs)排放對環境產生的影響，已受到世界各國重視。

　　針對公司廢氣處理現狀，中芯國際專業團隊制定了減排計劃，并選擇了高效、合理的PFCs氣體處理設備。在設備與技術的雙重革新下，該類設備經傅氏轉換紅外線光譜分析儀(FTIR)檢測，平均處理效率超過96.5%。預計今年中芯國際單位面積PFC排放量為1.86噸CO2e/平方米， PFCs產生的單位面積等效二氧化碳整體削減率達到32%。

　　形成38項節能方案

　　在半導體生產企業中，制冷機系統大多采用敞開式運行，產生了大量的余熱。而由于芯片生產中，又需要用到純水清洗，公司在其中花費了大量的蒸汽來加熱自來水。“公司一直致力于將這兩者有效結合，實現清潔生產”，殷有雄說。

　　一塊“板”解決了這一難題，中芯國際自主研發了一套冰機熱回收系統，在冰機背后設置了一塊類似于擋熱板的設置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來加熱自來水。

　　“這套裝置能將自來水從10℃加熱到22℃，每年可節省市政蒸汽2.32萬噸，折合標煤1994噸。”中芯國際相關技術人員透露，該技術已經獲得國家專利。

　　記者了解到，中芯國際已獲得英國標準協會ISO 14001認證(一套有關環境保護的非官方國際標準)。自2010年開始，在水資源回收和再利用、廢氣治理、節電設計、廢棄物減量化等清潔生產方面，中芯國際累計投入了1833萬元，形成了38項方案。

　　今年8月28日，中芯國際再次被列入香港恒生可持續發展企業指數，以表彰其在環境保護、社會責任和公司治理等方面的表現。9月，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司榮獲浦東新區“環境誠信綠色等級企業”榮譽稱號，成為浦東新區15家獲此殊榮的企業之一。