清華系再出半導體IPO，開盤猛漲72%！打破國際壟斷
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編輯 | Panken
芯東西6月8日報道，剛剛，華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）成功登陸科創板，發行價為136.66元/股。華海清科開盤價為235元/股，漲幅達72%。開盤后，其股價略有波動。截至芯東西成文，華海清科股價為235.50元/股，漲幅72.33%，總市值251億元。
▲CMP平坦化效果圖
報告期內，華海清科營收增長較快，2019年-2021年總營收分別為2.11億元、3.86億元和8.05億元。截至招股書簽署日，清華大學擁有華海清科37.854%的股份，為公司實際控制人和間接控股股東。本次IPO，華海清科計劃募資10億元，將分別用于“高端半導體裝備（化學機械拋光機）產業化項目”、“高端半導體裝備研發項目”、“晶圓再生項目”和“補充流動資金”4個項目，扣除發行費用后共募集了34.9億元，超募近2.5倍。
▲華海清科計劃募資情況
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01.清華教授鉆研20余年制出國內首臺12英寸CMP設備
▲華海清科發展歷程
華海清科董事長、首席科學家路新春，是華海清科技術上的核心人物。根據清華大學報道，2000年起，路新春團隊就開始了對CMP設備的研究，承擔了國家重大科技攻關任務十余項，研制出了中國第一臺12英寸“干進干出”銅制程拋光機。路新春本、碩就讀于吉林大學，之后在中國科學院金屬研究所獲得了博士學位。1994年4月，他進入清華大學博士后和講師工作。1996年-2012年，路新春歷任清華大學精密儀器與機械學系副教授、教授，2013年后為清華大學機械工程系教授、首席研究員。華海清科創辦后，路新春為公司董事長、總經理，2014年7月兼任清華大學天津高端裝備研究院副院長，2020年辦理離崗創業。
▲華海清科董事長、首席科學家路新春
02.2021年營收猛增4億元關鍵零部件已培養國產供應商
▲2019年-2021年華海清科營收及凈利潤變化
報告期內，華海清科各期研發投入分別為4496.99萬元、5836.17萬元和1.19億元，分別占營收的21.32%、15.12%和14.82%。目前，華海清科的CMP設備主要分為300系列和200系列，其中300系列主要應用于12英寸芯片產線，200系列設備則用于8英寸產線。其中300系列設備為華海清科的主要收入來源，2019年-2021年該業務收入占營收比例均超過84%。
▲2019年-2021年華海清科各業務營收占比
客戶方面，長江存儲自2019年來一直為華海清科的第一大客戶。2021年長江存儲大力擴產、投資，華海清科對其銷售額在當年占比達66.37%。此外，中芯國際和華虹集團也一直位列華海清科的前三大客戶。需指出的是，長江存儲為清華控股控制的其他企業；華海清科總經理張國銘則在華虹集團擔任外部董事。
▲2019年-2021年華海清科前五大客戶
當前中美貿易關系較為緊張，華海清科零部件的國產化情況在之前科創板注冊時，受到了上交所的關注。上市文件指出，其設備前端模塊（傳片模塊）主要產地為日本，主要供應商為RORZE CORPORATION等；流量控制器、波紋管等液路元件來自于日本東京計裝；其機械類通用部件則來自于美國。其中設備前端模塊為半導體設備專用零部件，華海清科已培養了新松機器人自動化股份有限公司、北京和崎精密科技有限公司等國內供應商；液路元件和機械類通用零部件則非半導體設備專用，受國際貿易摩擦影響較小。報告期內，北京錦通昌精密機械設備公司一直是華海清科的第一大零部件供應商。
▲2019年-2021年華海清科前五大供應商
03.打破美、日巨頭壟斷產品正進行14nm驗證
▲華海清科與應用材料、荏原對比
國內的CMP設備廠商則有華海清科、北京爍科精微電子裝備有限公司和中國電子科技集團公司第四十五研究所等，目前華海清科是唯一實現12英寸系列CMP設備量產銷售的企業。中國國際招標網數據顯示，長江存儲、華虹無錫、上海華力一二期項目和上海積塔在2019年-2021年共招標采購181臺CMP設備，華海清科共中標68臺，占比37.57%，12英寸CMP設備其余份額由應用材料和荏原所取得。不過2019年-2021年，華海清科中標設備數量占比逐年增長，2021年其中標設備占比達44.26%。在國內市場上，華海清科已開始對美國應用材料、日本荏原兩家公司的市場份額發起挑戰。毛利率方面，A股尚無專業生產CMP設備的半導體設備廠商，且應用材料和荏原均生產多種專業設備，并未單獨列出CMP設備相關財務數據。相比于中微公司、北方華創、芯源微和盛美上海等A股其他半導體設備企業，華海清科毛利率在2019年和2020年低于平均值，在生產規模擴大后的2021年其毛利率達44.73%，超過上述可比公司平均水平。
▲華海清科與同行業可比公司毛利率對比
制程上，目前華海清科的CMP設備主要應用于28nm及以上的制程產線，并已有機臺在客戶端做14nm產線驗證，仍和應用材料和荏原存在一定技術差距。截至2021年末，華海清科研發人員共有224人，占總人數比例達32.37%。其中核心技術人員有董事長兼首席科學家路新春、副總經理王同慶、副總經理趙德文、副總經理沈攀、供應鏈總監裴召輝、監事兼工程技術中心技術總監許振杰、工程技術中心部門資深經理田芳馨和工程技術中心部門資深經理兼總經辦主任郭振宇8人。路新春為華海清科的董事長、首席科學家，曾獲長江學者、國際ICPT執委等榮譽，累計獲已授權國家發明專利超過100項。截至2020年12月31日，路新春發表CMP相關SCI論文86篇，每篇文章平均被引用超過10次，位居全球CMP設備領域技術專家前三名，也是全球CMP設備技術授權專利獲得最多的專家。
▲華海清科董事長、首席科學家路新春
王同慶為博士學歷，畢業于清華大學機械工程專業，曾任清華大學精密儀器系博士后、清華大學機械工程系助理研究員、副研究員（2020年9月辦理離崗創業）。2013年4月至今，他歷任華海清科研發總監、總經理助理和副總經理等職。王同慶已發表CMP相關SCI論文30余篇，并作為發明人獲得授權專利77項。趙德文博士畢業于清華大學機械工程專業，曾為清華大學精密儀器系博士后、清華大學機械工程系助理研究員、副研究員（2020年9月辦理離崗創業）、華海清科總經理助理、技術總監、副總經理等職。他已發表CMP相關論文30余篇，SCI收錄20余篇，并獲得2項國際學術獎和授權專利95項。沈攀碩士畢業于中國地質大學（北京）機械設計及理論專業，2009年6月至2013年8月任清華大學摩擦學國家重點實驗室工程師；2013年8月至今任華海清科副總經理。他主要負責晶圓傳輸及拋光修整技術研發，獲得授權專利60項。裴召輝碩士畢業于機械科學研究總院武漢材料保護研究所機械設計及理論專業，2009年-2013年任清華大學摩擦學國家重點實驗室機械工程師，2013年8月加入華海清科，至今擔任采購部經理和供應鏈總監職務，其作為發明人獲得授權專利8項。許振杰碩士畢業于中國礦業大學機械設計及理論專業，曾任清華大學摩擦學國家重點實驗室工程師、華海清科工程技術中心部門資深經理、技術總監、監事等職，獲得授權專利54項。田芳馨碩士畢業于哈爾濱工業大學機械工程專業，2009年7月至2013年8月任清華大學摩擦學國家重點實驗室軟件工程師；2013年9月至今歷任華海清科工程技術中心部門副經理、經理、資深經理等職，獲授權專利10項。郭振宇畢業于清華大學電氣工程專業，碩士研究生學歷，曾任清華紫光英力化工技術有限責任公司項目經理、清華大學摩擦學國家重點實驗室電氣工程師等職。2013年8月，郭振宇加入華海清科，主要負責CMP裝備自動控制研究與開發，歷任工程技術中心部門經理、資深經理兼總經辦主任，獲授權專利8項。04.四川省國資委或將成為實控人中芯系已入股
▲華海清科股權結構圖
但值得注意的是清華大學于2021年12月10日和四川省能源投資集團有限責任公司簽署了《國有產權無償劃轉協議》，擬通過無償劃轉方式將所持清華控股的100%股權劃轉給四川能投。該協議生效后，華海清科的間接控股股東為四川能投，四川省國資委將成為公司實際控制人。
▲轉讓協議生效后華海清科與四川省國資委股權關系
截至2022年4月30日，華海清科的股權無償劃轉及重組方案已獲得國家市場監督管理總局決定書，清華大學將清華控股100%股權劃轉至四川省國資委的事項已分別獲得四川省國資委和中華人民共和國教育部的批復。四川省國資委將清華控股100%股權以股權投資方式，投入四川能投相關具體事項則尚需獲得四川省國資委進一步批復。此外，國開科創、浙創投、中芯海河、武漢建芯等重要的產業基金也均有投資。
▲華海清科前10大股東
05.結語：全球擴產熱推動營收、凈利猛增未來仍需面對激烈競爭
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