- 全球領先的高精真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新設備經過優化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體制造工藝。
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Edwards 真空泵 iXH645H
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