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應用散射技術測試復雜Spacer結構

  • 長久以來,散射技術已充分展示其精準測量簡單結構的能力,例如對淺溝槽隔離結構(STI)和柵極模塊的量測。但是,IC制造商現在需要監測和控制越來越復雜的結構。Spacer是目前散射技術正在處理的復雜結構之一。Spacer會
  • 關鍵字: Spacer  散射  測試    
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