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三星旗下Semes成功開發出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設備

  • 6月24日,三星電子旗下的韓國半導體和顯示器制造設備公司表示,第一臺名為“Omega Prime”的設備已于去年供貨,Semes正在制造第二臺設備。Semes表示,在Omega Prime設備上應用了噴嘴、烘烤溫度和機器人位置自動調整系統,以消除涂布層的偏差。目前,Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設備,并在此基礎上開發了ArF版本,以支持波長更短的新型光刻機。
  • 關鍵字: 三星  Semes  ArF-i  光刻涂膠  顯影設備  
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