- SUSS MicroTec是半導體業界創新工藝和測試方案提供商。SUSS MicroTec向日本發運了一臺LithoPack300光刻一體機,用于三維集成技術開發,并已成功安裝。該一體機擁有涂膠、烘烤、曝光、顯影模塊,可用于最大直徑為300毫米的晶圓片。對于難度較高的TSV硅通孔生產和三維集成的背面RDL再布線層,該一體機是一個高性價比的解決方案,再加上永久和臨時晶圓片鍵合,SUSS MicroTec可以提供一整套的工藝和技術方案,用于三維集成。SUSS MicroTec近期參與了一系列三維集成工藝的
- 關鍵字:
SUSS 晶圓 測試 光刻一體機
- 據半導體國際網站報道,SUSS MicroTeci與X-factory共同宣布,將在微流體和集成光學應用方面密切合作。iX-factory開發相關技術,SUSS MicroTec提供設備平臺,如其新推出的MA/BA8 Gen3雙面光刻機和CB8晶片鍵合機。iX-factory是領先的單晶片生產和技術服務的專業廠商。
SUSS Micr
- 關鍵字:
SUSS MicroTeci X-factory MA/BA8 Gen3 CB8
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