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基于MS5534B的氣壓高度計系統(tǒng)的設計
- 0引言 傳統(tǒng)的氣壓測量方法很多，例如水銀氣壓計和機械振筒式空盒氣壓計，但它們的結構復雜、體積龐大、測量精度低，不便于自動遙測。目前，氣壓傳感器正朝著小型化、集成化、智能化、標準化的方向發(fā)展，在性能上追求高穩(wěn)定性、高靈敏度、高分辨率、低功耗、寬溫度范圍等。隨著電子技術的快速發(fā)展，相繼出現(xiàn)了壓阻式、電容式以及基于MEMS技術制作的絕對壓力傳感器等。壓阻式或電容式傳感器結構簡單、精度高、靈敏度高，尤其是采用MEMS技術制作的絕對壓力傳感器，采用先進的集成電路工藝和微加工技術，將傳感元件和信號處理電路集
- 關鍵字： MEMS 氣壓測量 壓力傳感器 MS5534B 單片機
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