KLA-Tencor正式推出基于 Linux 的新型產品 LithoWare，該系統可幫助半導體電路設計人員大幅度降低 RET* 和 OPC* 工藝開發的時間和成本。LithoWare是一款基于業內標準的PROLITH 模型的光刻優化工具，它允許客戶同時優化 RET 和工藝條件，并將校準數據采集降至最少，從而有效縮短從設計到生產的時間。
“LithoWare 擁有無可比擬的預測精度以及在 Linux 計算機集群上運行的特性，它為 RET 開發人員提供了雙項優勢。”KLA-Tencor Corpo
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網安備11010802012473