- 精密真空產品和尾氣處理系統領先制造商和相關增值服務領先供應商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)已經推出了針對應用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應用的全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方面具有明顯優勢，這些先進性能結合起來為其帶來同類最佳的性能和擁有成本。
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Edwards IPUP2
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