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面向CMUT陣元的阻抗匹配設計與聲場特性測試

  • 電容式微機械超聲換能器(CMUT)是利用MEMS微加工技術制作的超聲換能器,具有低聲阻抗、寬帶寬、體積小等優點。然而,相比于壓電式超聲換能器,CMUT存在發射靈敏度較低、輸出聲壓不夠高等問題。據麥姆斯咨詢報道,為了解決CMUT聲發射能力弱、輸出聲壓低的問題,中北大學研究人員根據CMUT工作原理與阻抗匹配理論設計了匹配電路,實現信號源端到CMUT的最大功率傳遞,以此提升CMUT的聲發射性能,為CMUT的實際應用提供解決方案。相關研究成果已發表于《傳感器與微系統》期刊。單個CMUT陣元由許多CMUT微元構成,
  • 關鍵字: MEMS  CMUT  
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