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大尺寸液晶面板生產對AMHS提出更高要求

作者: 時間:2009-10-14 來源:中國電子報 收藏

  顯示器從前主要用于筆記本電腦、臺式機顯示器等領域。隨著時代的進步,從2004年開始,在平板電視領域的應用規模日趨擴大,已經逐漸成為平板電視機和顯示器的主角。為提高生產效率,面板廠商加工的玻璃基板尺寸越來越大,(自動物料搬運系統)已經成為面板生產中不可或缺的搬運設備。另外,的效率還將直接影響全廠的生產效率。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/98890.htm

  隨著平板電視尺寸越來越大,用于制造液晶顯示器的玻璃基板也隨之逐漸擴大。根據玻璃基板尺寸的大小,液晶面板生產線被劃分為不同世代。第1代液晶玻璃基板的尺寸僅為300mm×400mm,目前的主流產品是第6代到第8代產品,其中第6代液晶玻璃基板的尺寸為1500mm×1800mm,而第8代液晶玻璃基板的尺寸達到2200mm×2600mm。如今,已經有些公司開始生產第10代產品,其玻璃基板尺寸達到2850mm×3050mm。

  為了按照正確的規則調節通過彩色濾光片的光通量,需要在玻璃基板上制作TFT陣列,這是極為復雜的電路多層刻制工程。其中主要有薄膜(金屬、電介質或導電玻璃)形成、噴涂光刻膠、部分屏蔽曝光、顯影及刻蝕等工序,因為需要多次制作不同的薄膜圖形,在生產過程中,玻璃基板需要在幾個不同的生產區域之間往返進出。而實現這些搬運動作的設備和控制裝置就是。在高度自動化的生產過程中,AMHS能夠高效、及時、保質保量地將玻璃基板搬運到設定的裝置處。液晶面板廠加工的玻璃基板趨于大型化,這對自動搬運系統提出了更高的要求。

  在半導體生產系統尤其是12英寸集成電路廠房內,AMHS的應用也非常普遍,但半導體和液晶面板生產對AMHS的要求不盡相同。在半導體生產過程中,數十片直徑為300mm的硅片放置在專用容器內進行搬運,其重量最多為10kg,擔當主角的是天井走行式OHT(頭頂運輸)搬送設備。在工廠室內頂部設置的軌道上,幾十臺空中小車沿著軌道行走,在特定的制造裝置處裝卸POD(晶圓盒),并在各個制造裝置之間多次來回往復。現在半導體AMHS中所需要解決的是如何減少無用的緩沖、如何使空中小車更加高速化、如何有效地控制走行、如何優化管理大量的空中小車等等。

  對大尺寸陣列生產而言,每次搬運的玻璃基板重量已達到1噸以上。因此,如何快速、準確地完成重達1噸的玻璃基板的搬運任務,保證較高的加速度、減速度,在搬運過程中不破損、少振動,并且要確保較高的生產節奏,這是AMHS提供商所面臨的課題。

  跟半導體生產一樣,在液晶面板的加工過程中,AMHS還要滿足潔凈廠房的要求。陣列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作細小且復雜的TFT層,由于這一工程是左右液晶顯示器品質的至關重要的工程,需要盡可能地避免灰塵的污染及振動影響。整個生產過程需要在嚴格控制潔凈度的無塵室內生產。而AMHS是在清潔環境下工作的自動化搬送系統,它本身絕對不能成為“灰塵顆粒產生的源頭”。

  玻璃基板的表面積變大,更容易落上灰塵,因此在搬運過程中要避免產生灰塵,避免攜帶靜電荷。而且,在玻璃基板的保存、搬運、交接等各個環節中所開設的通道也隨玻璃基板尺寸的變大而變大,所以維持并確保所要求的潔凈度變得越發困難。隨著通道口的尺寸加大和數量增加,潔凈室內空氣流動越來越難以控制。

  村田機械在潔凈系統的AMHS行業內已經耕耘了20多年。在創業之初,村田機械是一家紡織機械生產商,此后不斷將業務范圍擴大至工業機械、物流系統、信息設備領域,是日本的主要工業機械廠商。在液晶制造行業的AMHS領域,村田機械的AMHS系統得到了眾多用戶的青睞,占有較大的市場份額。



關鍵詞: 液晶 TFT-LCD AMHS

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