Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統用于MEMS制造
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全球領先的半導體晶圓制造設備供應商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統。Bosch是全球領先的MEMS傳感器制造商，特別專注于汽車傳感和消費電子市場。
本文引用地址：http://www.j9360.com/article/92240.htm
全球領先的半導體晶圓制造設備供應商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統。Bosch是全球領先的MEMS傳感器制造商，特別專注于汽車傳感和消費電子市場。
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