國產半導體設備實現中低端突破
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半導體設備業需要創新
半導體產業發展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點就是更新換代快，因此對其進行支撐的設備制造業更需要加快研究進程來滿足它。
北京七星華創電子股份有限公司微電子設備分公司總經理盛金龍在接受《中國電子報》記者采訪時表示，半導體設備的發展本身就是技術創新的過程，IC以“摩爾定律”高速發展，其實其背后是以設備的創新和發展做支撐的，新的工藝技術總是用新一代設備實現的。
中電科技集團公司第45研究所副所長王志越表示，創新對于半導體設備企業非常重要。當前半導體設備的最大特點是不僅僅提供硬件設備本身，而是承擔了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說設備是來自于工藝，通過創新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導體設備企業來說，“創新是賴以生存的基礎，是企業不斷發展的保障”，沒有創新的半
導體設備企業不可能生存。
北京京聯發數控科技有限公司董事長秦建國告訴記者，創新給半導體企業帶來更好的活力、更高的效益，企業有了創新的產品及創新的技術就會在激烈的市場競爭中得到更快更好的發展，現在中國電子行業與國外電子同行相比，主要是技術、設備的落后，引進新的技術、設備是國內電子行業發展的一個重要辦法，而更重要的是要中國電子專用設備的生產制造商能自主研發、生產出更好的新產品，為中國電子行業的發展提供一個良好的平臺。
保持源源不斷創新能力
創新是一項系統工程，企業要想在市場上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創新能力，并不斷將其創新產品推向市場。國內半導體設備企業要想在被國外企業一統天下的設備領域有所作為，不斷創新是明智之舉。
王志越表示，首先，要建立起以分配機制為主的有效激勵的創新機制，貫徹落實國家有關科研成果、知識產權等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業的創新能力，要著重從企業決策機制、資源有效整合、科學管理、研發經費投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業在基礎環節上具備創新與騰飛的本領。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強大的創新團隊。第四，不能把自主創新同引進技術對立起來。自主開發并不意味故步自封。沒有一個國家能包攬所有源技術的開發，必須互相借鑒。現在，我們國家大部分行業在自我測評時都認為同發達國家的差距在10年-20年左右。不引進技術，靠自己關起門來埋頭苦干是不行的。在大多數產業中，我們還必須站在別人的肩膀上前進。此外國產化并不意味著所有的零部件都必須要國內制造。在當今經濟全球化的環境下，關鍵是擁有核心技術的知識產權。
秦建國告訴記者，企業要保持不斷的創新，首先應認識到創新給企業帶來的發展后勁，發展要依靠開拓創新，創新產品要有三個方面支持：第一要有研發人員；第二要有資金支持；第三要有市場的需求。沒有人才就無法創新，沒有資金的支持也就談不上創新，市場是創新產品的目的。要使企業不斷地推出創新產品，就要結合人才、資金、市場三方面，這樣才能使企業不斷地發展壯大，一個好的創新方式會使企業得到很好的回報。
北京中科信電子裝備有限公司副總經理孫勇表示，企業是創新的主體，企業只有在不斷的創新中才不會步入衰退期。這就要求具有適應社會各種變化能力的研發團隊，營造創新的組織與文化精神。在創新的氛圍下，創新才有動力，企業才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業應整合各種社會資源，不關起門來搞創新，必須建立開放式的創新平臺，吸納和整合各種資源，形成一個創新集群，一切為我所用，提高創新質量。
初嘗創新甜果
在不斷創新動力的推動下，國內半導體設備企業取得一個又一個成果，他們或是從現有設備出發，努力開拓新應用領域；或是面對全新的技術及工藝，讓國產設備用在國內IC大生產線；或是不斷改進產品性能，最終替代進口產品。
盛金龍告訴記者，他們在研制新設備的同時，不斷使用新的技術，運用新的知識，通過不斷創新，使設備達到新的水平。設備制造的創新，還需要體制創新、意識創新，設備制造的體制創新還在于引進人才，通過智力的引入使國產設備與國際設備行業融合，通過這些融合，把國產設備提升到新的層次。正是在這種理念的引導下，他們研制成功了PECVD設備。事實上，他們研究薄膜淀積技術和相關設備已多年，以前的PECVD設備主要應用于IC行業。他們是在以前的研究基礎上對設備進行較大的改進以適應于太陽能行業。應用于IC行業的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點使其不適用太陽能行業。我們在做了大量試驗并參考了國外設備之后，最終采用了新裝片舟用來承載硅片。并根據實際使用情況不斷改進其結構，逐步完善舟的設計，使其更加適用于大規模太陽能電池生產線，并不斷提升我國太陽能產業鏈整體技術水平。
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