2014年，在中央一系列擴大內需、穩增長、淘汰落后產能的各項政策推動和國家科技專項的支持下，我國半導體設備行業加快了自主創新和轉型升級的步伐，呈現快速增長態勢。

　　根據中國電子專用設備工業協會對國內35家主要半導體設備制造商的統計，2014年半導體設備完成銷售收入40.53億元，同比增長34.5%;實現利潤8.48億元，同比增長13.8%;出口交貨值4.41億元，同比增長50.5%。

　　其中，太陽能電池設備完成銷售收入14.66億元，同比增長11.48%;出口交貨值996.2萬元，同比增長-23.77%。集成電路設備完成銷售收入15.96億元，同比增長54.35%;出口交貨值4.23億元，同比增長44.4%。LED設備完成銷售收入7.14億元，同比增長26.15%;出口交貨值305.1萬元，同比增長了76.99%。

　　2014年中國半導體設備新進展中還有三大亮點。

　　一是12英寸28~15納米去耦合反應等離子體刻蝕機等14項集成電路設備通過工藝考核，達到量產，并實現了銷售。

　　二是LED(照明)生產線關鍵設備MOCVD、刻蝕機、PVD、CVD等2014年銷售51臺，實現了產業化。

　　三是全自動單晶制絨酸洗綜合設備等7項全自動化、高轉換效率新型晶硅太陽能電池生產設備成功進入生產線。

　　展望2015年半導體設備制造業，預計2015年主要半導體設備制造商銷售收入將增長25%左右，達到50億元左右。

　　其中，集成電路設備將繼續保持快速增長。2015年，在02專項和國家集成電路產業投資基金的支持下，更多的國產集成電路設備將進入大生產線，國產集成電路設備的國內外市場將繼續得到增長。

　　而LED生產線設備有望實現國產化。2015年，在國家電子發展基金的支持下，國產LED設備將全面進入6家LED制造商的生產線中，這無疑將加快LED設備國產化的進程。

　　太陽能電池生產設備將繼續小幅增長。2015年，國家繼續擴大國內光伏市場，光伏行業年度增長率目標將超過70%。中國已成為全球光伏產業最大的終端市場，光伏企業將加快淘汰落后生產線設備、擴大產能。這將給我國太陽能電池設備制造商帶來新的發展機遇。