2011~2012年十二五規劃前期，包括廈門、濟南、天津、蘇州、東莞、天津、上海等地方政府或所屬半導體產業產業園區即先后推出包括租稅優惠或金錢直接補貼等半導體產業扶持政策，其中，僅有上海以專項方式對IC制造業提供補貼，同時也對IC設計業者給予金錢補貼，其他地方政府皆是對IC設計業者提供政策支持。

　　然而，自2013年下半大陸中央政府設立產業扶持基金并將對IC制造企業提供資金支持傳言甚囂塵上，加上北京市設立300億元產業扶持基金并對中芯國際興建12寸晶圓廠提供資金支持后，包括合肥、武漢、天津，乃至于上海等地方政府預估皆會相繼成立半導體產業扶持基金，解決IC制造業資金瓶頸的問題，地方政府的半導體產業政策逐漸由僅對IC設計業的支持轉向為對IC制造業的支持。

　　十二五規劃期間大陸中央政府即以國發(2011)4號文與財稅(2012)27號文為核心，以租稅優惠的方式對半導體產業提供支持，2014年6月24日國務院更公布《國家積體電路產業發展推進綱要》，將設立支持半導體產業發展的股權投資基金的政策方向重新提出并加以強調，最主要就是要達到「提高大陸半導體市場自制率」與「培育出具規模與具競爭力的半導體企業」等戰略性目標。

　　地方政府除對半導體企業提供光罩、首次MPW、IP授權、EDA，乃至上市掛牌等相關費用補貼，與對半導體人才提供人才安家、房屋租金等補助外，亦將依循北京政府與中芯國際合資模式設立產業扶持基金，目的即是為了透過招商與打造產業聚落途徑以提振地方經濟。

　　十二五規劃后期　大陸中央與地方政府半導體扶持政策比較