在相關政策支持及設備商自身努力的雙重推動下，企業相關業務營收也高速增長，半導體設備國產化率也在不斷提高，CINNO Research 統計數據表明，2022 年中國大陸設備商半導體裝備業務營收排名 TOP10 合計近 300 億元，同比增長 56%，業績十分亮眼。

入圍 2022 年中國大陸上市公司半導體設備業務營收排名的 TOP10 與 2021 年 TOP10 設備商相同，沒有新增。具體來看，北方華創作為國內半導體設備商龍頭企業，2022 年半導體營業收入 120 億，穩居排名第一，中微公司排名第二，盛美上海排名第三，長川科技排名第四，同 2021 年排名。2022 年完成上市的拓荊科技以全年 16.9 億元的營收由 2021 年的排名第九躍進至第五，同樣 2022 年上市的華海清科以全年 16.5 億元的營收由 2021 年的排名第八前進至第六，兩家公司全年營收同比增長均超過 100%。

2022 年中國大陸上市公司半導體設備業務營收排名，來源：CINNO Research 注：上述排名包含集成電路前道制造、后道封測及 LED 等功率器件設備商，不含光伏行業設備商

Top 1 北方華創

中國大陸的龍頭半導體設備商，主要產品為電子工藝裝備和電子元器件，是國內主流高端電子工藝裝備供應商，也是重要的高精密電子元器件生產基地。公司電子工藝裝備主要包括半導體裝備、真空裝備和新能源鋰電設備，電子元器件主要包括電阻、電容、晶體器件、模塊電源、微波組件等。2022 年半導體裝備相關營收 120.8 億元，同比增長 52%，穩居中國大陸榜首位置。

其中在刻蝕裝備方面，面向 12 吋邏輯、存儲、功率、先進封裝等客戶，已完成數百道工藝的量產驗證，ICP 刻蝕產品出貨累計超過 2000 腔；采用高密度、低損傷設計的 12 吋等離子去膠機已在多家客戶完成工藝驗證并量產；金屬刻蝕設備憑借穩定的量產性能成為國內主流客戶的優選機臺；迭代升級的高深寬比 TSV 刻蝕設備，以其優異的性能通過客戶端工藝驗證，支撐 Chiplet 工藝應用；應用于提升芯片良率的 12 吋 CCP 晶邊刻蝕機已進入多家生產線驗證；精準針對客戶需求，發布了雙頻耦合 CCP 介質刻蝕機，實現了在硅刻蝕、金屬刻蝕、介質刻蝕工藝的全覆蓋。面向 6/8 吋兼容的多晶硅刻蝕、金屬刻蝕、介質刻蝕和 SiC、GaN 等化合物刻蝕設備系列，為各類半導體器件提供刻蝕工藝全面解決方案。

Top 2 中微公司

中微公司專注于半導體刻蝕設備和沉積設備，2022 年半導體裝備相關營收 47.4 億元，同比增長 52%。

近日，中微半導體設備推出自主研發的 12 英寸低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 設備 Preforma Uniflex? CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設備多年、在半導體薄膜沉積領域取得的新突破，也是實現公司業務多元化增長的新動能。

Top 3 盛美上海

盛美上海以半導體清洗設備和先進封裝濕法設備為核心，近年開始進軍沉積設備，2022 年半導體裝備相關營收 27.6 億元，同比增長 78%。

Top 4 長川科技

長川科技主營半導體測試設備，包括測試機、分選機、探針臺等，2022 年半導體裝備相關營收 25.8 億元，同比增長 70%。

Top 5 拓荊科技

拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，于 2022 年 4 月上市，2022 年半導體裝備相關營收 16.9 億元，同比增長 122%。

Top 6 華海清科

華海清科主營化學機械拋光設備，適用于晶圓制造及先進封裝的關鍵制程，于 2022 年 6 月上市，2022 年半導體裝備相關營收 16.5 億元，同比增長 105%。

Top 7 芯源微

芯源微主營半導體晶圓制造中的濕制程設備，包括涂膠顯影、刻蝕、清洗設備等，2022 年半導體裝備相關營收 13.6 億元，同比增長 67%。

Top 8 新益昌

新益昌主營業務為封裝用固晶機、電容老化測試設備等，其在中國大陸 LED 固晶機領域有領先地位，2022 年半導體裝備相關營收 11.3 億元，同比增長 1%。

Top 9 華峰測控

華峰測控主營業務為半導體自動化測試系統的研發、生產和銷售，產品主要用于模擬、數模混合、分立器件和功率模塊等集成電路的測試，2022 年半導體裝備相關業務營收 10.7 億元，同比增長 22%。

Top 10 至純科技

至純科技主營業務包括高純工藝集成系統、半導體濕制程設備、光傳感及光器件等，2022 年半導體裝備相關業務營收 7.9 億元，同比增長 11%。