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意法半導體與Soitec合作開發碳化硅襯底制造技術

作者: 時間:2022-12-08 來源:電子產品世界 收藏

·       雙方同意對技術進行產前驗證, 以面向未來的8

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202212/441418.htm

·       提供關鍵半導體賦能技術,支持汽車電動化和工業系統能效提升等轉型目標

 

2022128日,中國---- 服務多重電子應用領域、全球排名前列的半導體公司(STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券交易所代碼:STM)和世界先驅的創新半導體材料設計制造公司 (巴黎泛歐證券交易所上市公司) 宣布了下一階段的碳化硅 (SiC)襯底合作計劃,由在今后18 個月內完成對碳化硅襯底技術的產前認證測試。此次合作的目標是采用 Soitec SmartSiC? 技術制造未來的8寸碳化硅襯底,促進公司的碳化硅器件和模塊制造業務,并在中期實現量產。

 

意法半導體汽車和分立器件產品部總裁 Marco Monti表示:汽車和工業客戶正在加快推進系統和產品的電動化,升級到8 SiC 晶圓將為他們帶來巨大好處,因為產品產量提高對于推動規模經濟非常重要。ST選擇了一種垂直整合的制造模式,從高質量的襯底,到大規模的前工序制造和工序封測,在整個制造鏈中充分利用我們多年積累的專業技術專長我們希望通過 Soitec 技術合作,不斷提高良率和質量。

 

隨著電動汽車的到來,汽車行業正面臨巨變Soitec通過尖端的 SmartSiC? 技術,獨特 SmartCut? 工藝用于碳化硅半導體材料,將在推進電動汽車普及方面發揮關鍵作用。” Soitec 首席運營官 Bernard Aspar 表示:Soitec SmartSiC? 襯底與ST行業率先的碳化硅技術和專長整合,將改變汽車芯片制造的游戲規則,并樹立新的標準。

 

碳化硅 (SiC) 是一種顛覆性的化合物半導體材料,在電動汽車和工業制程領域重要的高增長功率應用中,碳化硅材料的固有性質令碳化硅器件的性能和能效優于硅基半導體。碳化硅可以實現更高效的電源轉換、更緊湊的輕量化設計,并節省整體系統設計成本——所有這些都是汽車和工業系統成功的關鍵參數和素。從 6 晶圓升級 8 晶圓,可以使制造集成電路的用面積增加幾乎一倍,每晶圓上的有效出片量達到升級前的1.8-1.9 ,因此大幅增加產能。

 

SmartSiC? Soitec 的專有技術,基于Soitec 專有的 SmartCut? 技術,高質量碳化硅供體晶圓上切下一個薄層,將其粘合到待處理的低電阻多晶硅晶圓片表面。如此加工后的襯底有效提高芯片的性能和制造良率。此外,優質的碳化硅供體晶圓可以多次重復使用,因此可以大幅降低供體加工總能耗



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