我們常常聽到一句話“科技改變生活”，在智能化數字化的今天，形形色色的硬件設備無時無刻不在改變著我們的生活。而在生活中常見的運動手表、汽車傳感器、災害預警系統內，MEMS傳感器是必不可少的器件之一。

　　那么到底什么是MEMS？MEMS即微機電系統（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技半導體裝置。微機電系統的內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。8月29日，在ADI的MEMS新品媒體會上，ADI亞太區微機電產品線總監趙延輝先生分享了ADI在MEMS產品上的創新之處。

　　據介紹，ADI的MEMS可以做五大類運動傳感，而這些運動傳感都與我們日常生活、行業社會的發展息息相關。ADI亞太區微機電產品線總監趙延輝表示：“MEMS傳感器可以測量加速度（Acceleration）、轉動（Rotation）、沖擊（Shock）、傾角（Tilt）、振動（Vibration）等多種信號。”這五類運動傳感囊括了我們日常生活中絕大部分的行為感知，但是隨著應用場景越來越苛刻，對MEMS產品的要求也越來越高。

　　超低功耗MEMS的應用場景有很多種，消費類、醫療急救、植入式醫療、工業生產以及汽車上都會有MEMS的身影。而MEMS元件上的微小功耗和噪聲技術突破，都可以為整個終端產品帶來巨大影響。例如在除顫器、心臟起搏器等急救醫療設備上，更低的功耗元件能夠保障這些設備在公共場所更長時間的使用，為需要被急救的人帶來更多生的希望；在災害預警設備中，更低的噪聲將會提高MEMS的精確度，帶來更精準更快速的災害預警，更大程度上避免人員和財產損失。由此不難看出，超低功耗的MEMS在現代生活中的重要性。

超低功耗體驗的ADXL367

　　ADI在追尋先進科技術的路上始終在超越自我。2012年ADI發布了一款超低噪聲加速計產品——ADXL362，至今仍具有市場競爭力，但ADI沒有滿足于此。趙延輝向我們介紹，新產品ADXL367顛覆了傳統產品的指標結構，在前代的基礎上性能更上一層樓。

　　與前代產品相比，ADXL367的面積縮小了47%，高度減少了20%，整體大小在2.2×2.3mm左右，數字分辨率也從12位提高到14位，工作電流更是擴展到最小0.88μA，同時還能切換休眠模式和喚醒模式。而這些還遠不夠驚艷我們，趙延輝在介紹ADXL367時表示：“ADXL367在噪聲密度上也進行了非常大的改觀，尤其是在超低功耗的模式下，目前ADXL367在X、Y、Z三個軸都做到了375μg/√Hz的水平。”那么低噪聲帶來哪些好處？舉個例子，在類似心臟、呼吸等條件檢測應用中，傳感器憑借其超低噪聲的模式可以捕捉到非常微小的變化。而且還能極大地降低儀器對工作環境、位置的要求，以及簡化了使用者的應用成本。

服務新興市場的ADXL314

　　媒體會上，趙延輝向我們介紹了ADI推出的新款車規級低功耗低噪聲大量程的三軸加速度計——ADXL314，以適應更多新興應用，例如能夠用于汽車胎壓監測、電動車電池檢測以及碰撞檢測、EDR等場景。與傳統的胎壓監測不同，ADXL314不僅具有壓力傳感還配備了加速度計作為啟動開關來觸發胎壓監測。比如車一啟動，這時會有一些加速度的變化，然后再啟動胎壓監測。另外一些胎壓監測則需要配合車的運行速度來進行判斷。

　　在新能源車十分火熱的同時，消費者也在關心著車內電池包的安全問題，屢見不鮮的電池泄露、燃燒等問題成為行業痛點。例如，電池在發生嚴重事故時會出現冒煙情況，通常會涉及到兩大類技術，一類是碰撞監測，一類是煙感檢測。ADXL314解決的是碰撞檢測的問題，它可以根據不同等級的加速度來告訴電源管理系統采取何種保護措施。而這是電源行業和新能源車行業未來發展的趨勢之一。

高性價比的ADXL359

　　據趙延輝介紹，ADI在2017年曾發布過一系列低噪聲產品，包括ADXL356和ADXL357，在農業自動化、無人機領域以及振動領域里都有非常好的市場反饋，但為了滿足客戶對CBM和IMU的需求，ADI推出了這款ADXL359。

　　ADXL359的優勢在于3軸中等量程以及出色的穩定性，振動整流誤差非常小。比如農業拖拉機或者AGV經過減速帶發生振動的同時，ADXL359依舊能捕捉姿態或位置，提供優異的振動整流誤差值。并且ADXL359在3軸方向上均具有低噪聲特性，還附帶了高通濾波器。

　　在MEMS領域，ADI是資深玩家，技術革新上具有前瞻性。這次ADI推出三款新品不僅僅是處于市場行業的需求，更引領了MEMS領域的技術發展方向。正如趙延輝向我們分享關于ADI在MEMS領域的創新故事：“世界范圍內，在采用了ADI sensor安全氣囊的汽車中，正由于安全氣囊的彈出而解救人命。曾經有一個統計數據顯示，因采用ADI的安全氣囊sensor，全球每天都會有8個人被獲救。“對于科技企業，技術突破固然是產品迭代的動力，落實到以人為本，改變人類生活則更是一種科技精神。