做為全球最大的晶圓代工廠，臺積電的5nm晶圓廠備受關注。南科18A工廠突發事故，疑似氣體泄漏，供應商也被堵在廠外不讓進入。

7月31日消息，做為全球最大的晶圓代工廠，臺積電的5nm晶圓廠備受關注。南科18A工廠突發事故，疑似氣體泄漏，供應商也被堵在廠外不讓進入。供應鏈消息人士透露，這次事故應該是氧氣供應受到污染，由于牽涉制程相當廣，臺積電至30日早上止，已忙成一團。

據悉，臺積電證實有部分來自廠商供應氧體疑似受到污染，已即時調度其他氣體供應，此現象對產線并無造成顯著影響，芯片仍正常生產。不過從供應商被擋在門外，且消息傳出29日12時臺積電18廠舉行生產會議 ，確實生產受到影響。

半導體廠商表示，半導體制程高達700多道，約有270道需使用氧氣，涵蓋蝕刻、物理及化學研磨，幾乎都是核心制程，且臺積電18a又是目前臺積電最缺的5nm核心制程，目前生產項目又是蘋果下一代5G手機要用的核心處理器和AMD新一代處理器，此刻發生氧氣受到污染，恐怕是直中臺積電要害。但預料臺積電也會全力排除相關問題，盡快讓產線恢復，只是詳細影響，有待臺積電進一步說明。