1   我國MEMS產業正值春天

如果說新冠疫情對于國內外經濟、人際交往是一個冬天，那么對于MEMS 產業，過去的2020 年恰恰是春天。

2021 年是“十四五”開局之年，我們迎來新一輪的技術革命和產業變革，在MEMS 傳感器行業也迎來了機遇。就像集成電路是上一輪變革的核心一樣，以MEMS 為核心的智能傳感器是新一輪產業技術變革的核心，正處于爆發階段。

基于MEMS 產業的重要地位，從2017 年開始，我國在國家層面每年都有新的政策和規劃出來，以促進MEMS 產業的發展。地方政府出臺的相關規劃、政策，既包括廣州、上海這樣的一線城市，也包括鄭州、重慶這樣的中西部城市，甚至包括寶雞、嘉興市嘉善縣這樣的三四線城市地區。可見在我國發展MEMS 智能傳感器產業，無論是中央，還是地方各個層級，已達到了初步共識。

為什么MEMS 產業現在處于“春天”階段？①在市場和產業結構上已發生了巨大變化。②經過了40年的發展，工藝和技術正趨于成熟，處于大規模商用量產階段。③從金融、資本角度看，MEMS產業是血液。

2   國內外MEMS企業的分布特點

20 世紀80 年代初，MEMS 產業開始規模應用，經過將近40 年的發展，已經形成了一批國際上領先的企業，有ST、安華高（博通）、博世等。

MEMS 行業有個特點，日韓和中國臺灣的企業較少，主要是歐美企業。縱觀經濟變遷，包括新型顯示、集成電路都有這樣的規律，從歐美向日本、韓國、中國臺灣地區遷移，再擴展、遷移到中國、東南亞等地區。

現在，MEMS 產業領導廠商仍然是美歐企業，因此可以認為，雖然經過了三四十年發展，MEMS 仍然處于起跑線階段，日韓和中國臺灣企業還沒有成長起來，恰恰這是中國大陸企業“不輸在起跑線”上的機會。

從2019 年全球MEMS主要企業銷售額和排名看，前兩名的是安華高（博通）、博世，他們的規模約為15 億美元（注：1 美元約合6.4 元人民幣），不到100 億元人民幣。相比之下，芯片行業的高通、臺積電，動輒是上千億元人民幣體量。可見在全球MEMS廠商格局中，我們作為后來者，其實差距并不大，歌爾聲學現在是全球第九大廠商。在2019 年全球不景氣的情況下，中國企業依然保持高速增長，再次印證了國內企業具有后發優勢，趕超正當其時。伴隨著國內集成電路產業的快速發展，MEMS 產業鏈逐步完善，我們關注的是價值鏈。很多MEMS 企業家反映，國內有很多投資機構在找他們洽談，地方政府也在積極招商引資。目前國內MEMS 產業鏈、價值鏈的特點是，越往下游和市場越貼近，價值越高，因為其價值已經包括上游的原材料、物料。在應用環節，集成應用規模為1 900 億元（如圖1）；設計企業，目前價值約為1 300 億元；到了制造、封測、設備材料，為300 億元左右；國內IDM 在100 億元左右體量規模，這是存量。看投資收益和發展前景，實際上現在MEMS 行業凈利潤率并不高，10% 左右，IDM 凈利潤率最高，超過20%，代工行業利潤率比較高，達到12%。在研發投入方面，研發能力遠遠不足，基本上在10%，IDM 比較高，超過了10%。

圖1 2020年MEMS產業價值鏈分布情況

3   我國MEMS產業和市場是春天的依據

第1 個依據，近幾年國內MEMS 市場增長幾乎每年保持在20%，即便是2020 年——新冠疫情爆發的一年，中國GDP 增長2.3%，而MEMS 市場增速是23.2%（ 如圖2）， 是GDP 增速的10 倍， 可見MEMS 的市場應用正處于快速增長階段。賽迪預計，2022 年市場將會突破1 000 億，并且未來每年還會保持20% 左右的速度持續增長。在目前所謂遍地都是紅海的市場氛圍中，這樣的藍海市場難能可貴。

第2 個依據，過去MEMS 主要用在家電和消費領域，最高時占了將近60%，現在一方面規模在擴大，同時包括汽車、工業、醫療的新興應用領域正在蓬勃發展（如圖3），這對MEMS 行業是極大的利好。

第3 個依據，產業結構，有兩個結論。① MEMS產業正在趨于高端化，國內6 英寸占45% 左右，6/8英寸兼容產能占22%，6 英寸以下產能占11% 左右。

2016、2017 年時，產業界還認為6、8 英寸風險太大，探討會不會做第1 個吃螃蟹的人，現在高端產能已非常明顯。②區域分布方面，在整個長三角地區，MEMS生產線的產能集中度達到2/3，包括上海、浙江、安徽，已成為目前MEMS 行業發展集中度最高、發展速度最快的區域，這也是蚌埠選擇聚焦MEMS 領域發展的重要考量因素（如圖4）。

4   我國MEMS的投資市場

據賽迪統計，2020 年MEMS 領域投資兼并案例有116 個，投資了347 億元。347 億元到底是多少？做一個縱向的比較，2020 年市場規模是736 億（如圖2）。

投資強度和市場相比達到將近50%。如果回顧20世紀七八十年代的韓國、中國臺灣，集成電路產業之所以能夠騰飛，很重要的因素是投資強度大，至少超過40%。可見我們在MEMS 產業的投資強度已經達到了實現跨越式發展的階段。當時集成電路行業投資約為七八十億，我們現在的投資強度是20 年（2001 年）前國家對集成電路行業投資的三四倍。

從階段分析可以看到，這116 個項目，50% 以上在A 輪和A 輪之前（如圖5），這說明投資才剛剛起步，大量投資在前端，說明資金有一半投入到了新的項目中，而不是過去項目的持續投資。投資主要集中在發達省份，包括北京、廣東、浙江、江蘇、上海，這5 個省市和地區占投資份額的85%（如圖6）。

5   產業未來趨勢

1）未來10 年是中國MEMS 產業的黃金10 年。國際貿易環境復雜多變，國內產業和市場面臨著諸多挑戰，包括新冠肺炎疫情影響的長期化。

2）代工制造是中國MEMS 產業的重要特點。因為① MEMS 工藝將逐步標準化、兼容化；② MEMS與IC 相比體量小得多，因此MEMS 企業更適合代工模式。

3）先進封裝是MEMS 產業的重要環節。MEMS封裝是決定MEMS 器件性能的重要環節，需要同時實現芯片保護、外界信號交互等多種功能，因此封裝工藝好壞，很大程度上決定了MEMS產業的性能和成本。

4）新材料和傳感集成是MEMS 產業新的機會。

大幅提高硅基MEMS 產品性能、降低成本是未來MEMS 產業的巨大市場機會。在MEMS 器件材料方面，PZT、氮化鋁、氧化礬等新材料在MEMS 器件上的突破有望快速應用，取代部分傳統硅基產品。同時，將多種單一功能傳感器組合成多功能合一的傳感器模組，再集成微控制器、微處理器等芯片的傳感器集成技術也是MEMS 產業新的市場機會。

6   四點建議

1）優化產業發展的

政策環境和金融環境，落實國家促進電子信息產業發展的各項政策法規，營造良好的金融生態環境，建立多元化的投融資體系，積極推進銀企合作，拓展企業融資渠道，促進產業集群發展；發展龍頭企業和相關上下游企業，促進企業分工和互補，推動產業鏈建設。

2）產學研緊密結合，重視知識產權戰略布局，聯合高校設立科技創新基金，開展新產品研發、科技成果轉化等，構筑企業為主體的技術創新體系，走產學研用相結合的道路，走自主創新和國際合作相結合的跨越式發展道路。

3）完善并優化產業生態，積極推動產業鏈協同升級。一方面，積極提升本土MEMS 傳感器產業配套能力，推動新型敏感材料、設計分析軟件、核心裝備、傳感器數據融合等技術的研發和產業化。另一方面，統籌產業鏈上下游資源，強化產業鏈上下游合作，增強產業協同發展能力。

4）加強高校人才培養建設，鼓勵企業與高校合作培養人才，搭建高校與企業聯合培養人才模式，支持建立MEMS 產學研用育人平臺，通過天時、地利、人和，促進國家，包括安徽省、蚌埠市MEMS產業的共同發展。

（本文來源于《電子產品世界》雜志社2021年6月期）