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臺積電2nm工藝進入研發階段:升級GAA晶體管、改進EUV效率

作者: 時間:2021-04-20 來源:快科技 收藏

做為全球最大最先進的晶圓代工廠,在7nm、5nm節點上領先三星等對手,明年面還會量產3nm工藝,接下來則是工藝。

本文引用地址:http://www.j9360.com/article/202104/424621.htm

計劃未來三年投資1000億美元,其中先進工藝花費的資金最多,工藝也是前所未有的新工藝,去年稱工藝取得了重大進展,進度比預期的要好。

實際上臺積電的2nm工藝沒有宣傳的那么夸張,此前只是技術探索階段,尋找到了可行的技術路徑。

現在2nm工藝才算是進入了研發階段,重點轉向了測試載具設計、光罩制作及硅試產等方向。

根據臺積電的說法,2nm工藝節點上,他們也會放棄FinFET晶體管結構,轉向GAA環繞柵極結構,此前三星更為激進,在3nm節點就會棄用GAA晶體管,不過這兩家的GAA晶體管結構也不會一樣,孰優孰劣還沒定論。

在2nm節點,光刻工藝更加重要,EUV光刻是少不了的,但此前的EUV工藝還存在不少問題,臺積電的2nm節點也會重點改進EUV工藝,提高光刻中的質量及效率。

至于量產時間,臺積電的2nm工廠現在還在起步階段,此前消息稱是2023年試產2nm工藝,2024年量產。




關鍵詞: 臺積電 2nm

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